適用于大學(xué)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的立式實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜設(shè)備介紹
適用于大學(xué)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的立式實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜設(shè)備介紹
TVF-110
立式實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜 最高1200°C
低成本 低要求配置(手動(dòng)控制) 可用作管式爐、擴(kuò)散爐和熱 CVD
罐式加熱器 | 最高1200°C |
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適用于從小樣品到3英寸晶圓的小基板 基座 手動(dòng)升降式立式實(shí)驗(yàn)爐用于基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的低成本立式爐 非常適合大學(xué)和企業(yè)實(shí)驗(yàn)室的基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)。
特征
用戶友好,易于手動(dòng)操作
配置簡(jiǎn)單,是基本實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇
可以以低成本和低的必要規(guī)格提出設(shè)備
我們可以根據(jù)要求定制。
設(shè)備配置
爐體(石英部件,如基座、舟、緩沖器等,包括垂直升降機(jī)構(gòu))
熱電偶
溫度控制單元
支架
原理圖規(guī)格
【電爐部分】 | 規(guī)范 |
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最高工作溫度 | MAX1200°C (*加熱器最高溫度) 電路板溫度 950°C |
加熱器 | 罐式加熱器1區(qū)式1.5KW |
爐體 | 陶瓷成型品 Φ290 x 300L(分成兩半) |
箱 | 帶開合功能的鋁制外殼 |
熱電偶 | 2對(duì)K型護(hù)套熱電偶,用于控制和超溫檢測(cè) |
溫度測(cè)量熱電偶 | Φ0.65mm K帶線型絕緣管1500L |
溫度控制 | PID溫度控制器晶閘管控制 |
【基座底座法蘭上下升降部分】 | 規(guī)范 |
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驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 手動(dòng)(旋轉(zhuǎn)手柄) |
中風(fēng) | MAX300mm (基座) MAX500mm (基座法蘭), 帶停止位置刻度,帶可選垂直停止位置鉗位鉗位器 |
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