thermocera薄膜實驗設備介紹
【MiniLab系列柔性薄膜實驗設備】可根據(jù)各種客戶要求模塊化配置進行定制。 我們還滿足高規(guī)格要求,如多路濺射、氣相沉積、多維同步成膜和多腔室系統(tǒng)。 所有組件都存儲在 19 英寸機架(單、雙、三)的緊湊框架中,所有操作和數(shù)據(jù)管理都可以通過單個 7 英寸觸摸面板(或 Windows PC)集中管理。 我們通過與手套箱無縫連接、氣相沉積掩模/基板自動轉(zhuǎn)換器、去除 1D/PMMA 等抗蝕劑的“軟蝕刻”和晶圓級石墨烯合成設備 [nanoCVD-WGP(MiniLab-2 的應用設備)]等原創(chuàng)技術為研究和開發(fā)做出貢獻。
真空沉積(金屬和有機材料)
磁控濺射
電子束沉積
射頻/直流等離子體蝕刻
退火
熱CVD
相關產(chǎn)品介紹
![image.png image.png](https://img63.chem17.com/9/20230324/638152524431648490616.png)
MiniLab系列
柔性薄膜實驗室設備
由于它是模塊化的內(nèi)置類型,因此可以根據(jù)所需的膜類型和工藝組裝專用機器。 靈活的緊湊型實驗設備,可用于各種用途。
![image.png image.png](https://img65.chem17.com/9/20230324/638152524580054482471.png)
ML-GB-026/090
手套箱薄膜實驗室設備
通過將PVD腔室存儲在GB中,可以在“無氧/無濕氣”的實驗環(huán)境中無縫執(zhí)行氣相沉積,飛濺和退火等所有操作。
![image.png image.png](https://img61.chem17.com/9/20230324/638152524700557525378.png)
納米CVD-WGP
晶圓級石墨烯合成器
Φ3英寸和Φ4英寸晶圓尺寸的石墨烯合成器。 通過抑制雜質(zhì)高速合成清潔、高質(zhì)量的石墨烯。 它可用于熱CVD或低溫/高溫等離子CVD。
![image.png image.png](https://img65.chem17.com/9/20230324/638152524864573000766.png)
納米爐熱CVD機
緊湊型臺式熱壁式熱CVD系統(tǒng)。 4.工藝氣體系統(tǒng),高精度APC工藝壓力控制。 均勻加熱實驗可以在反應管中的穩(wěn)定氣氛中進行。
![image.png image.png](https://img62.chem17.com/9/20230324/638152525032036966917.png)
PLD-1000 PLD薄膜沉積設備
藍波半導體 PLD1000
相關產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。