玻璃基板上金膜圖案化的加工實例分析
加工概述和特點
金膜厚度:100nm
加工區(qū)域:500μm ×500μm 間距:300μm
通過與外部AOM同步,脈沖ON/OFF以1μs的時間分辨率進行控制。
~內(nèi)置外部AOM同步系統(tǒng),實現(xiàn)1MHz的逐拍控制~
思百吉建立了一個系統(tǒng),可以通過同步振蕩器和外部AOM來控制脈沖ON/OFF,時間分辨率為1μs。 通過使用該系統(tǒng)在加工過程中更改和設(shè)計圖紙圖案,我們實現(xiàn)了加工時間的縮短。
在這一開發(fā)中,我們實現(xiàn)了定期打開和關(guān)閉激光脈沖發(fā)射的控制。 將來,我們希望繼續(xù)進行開發(fā),以便能夠以更高的自由度控制激光脈沖發(fā)射,例如掃描儀操作和與外部驅(qū)動軸的同步。
帶或不帶加工驗證內(nèi)容的圖紙比較 _AOM
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