等離子清洗機也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法不能達到的效果。等離子體是物質的一種狀態(tài),也叫做物質的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
1.等離子清洗機真空泵熱過載保護,請檢查線路和真空泵故障
①如系統(tǒng)參數無變化,請確認熱繼電器是否自動保護,按復位鍵,然后啟動真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒有自動保護,請檢查電氣線路有無斷路或短路情況。
②出現(xiàn)此情況請先觀察系統(tǒng)參數設置有無變化,突然斷電會引起系統(tǒng)參數歸零,導致設備出現(xiàn)此類報警。
③檢查導線是否有斷路或短路情況。
④如無上述異常,請檢查真空泵。
2.等離子清洗機三相供電相序異常,請更換相序
①有相序保護繼電器,如出現(xiàn)此類報警,請更換相序。
3.一路供氣壓力過低,請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
4.二路供氣壓力過低,請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
3及4是氣路控制系統(tǒng)報警,出現(xiàn)此報警請先檢查氣體是否打開或耗盡。如氣體沒有問題,請檢查設備減壓表、氣路電磁閥及流量計是否正常工作。檢查電氣線路是否出現(xiàn)斷路或短路。
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