MF5712-G-250-B-R氣體質(zhì)量流量計(jì)原理框圖
工作原理
MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是本司自主研制的MEUS流量傳感芯片該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí),在轉(zhuǎn)感器的周邊形成穩(wěn)定。
MF5712-G-250氣體質(zhì)量流量計(jì)的溫度場分布旦一定質(zhì)量的氣體充過傳感器時(shí),氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場的分布,形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)本片上的傳感器將測量這變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號號由一個(gè)專門地電路變送器對此信號進(jìn)行放、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣本對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的選動(dòng)不同,因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
MF5712-G-250-B-A氣體質(zhì)量流量計(jì)安裝注意事項(xiàng)
(1)流量計(jì)安裝前必須清除管道中的雜質(zhì),避免異物進(jìn)入而損壞流量計(jì),管道內(nèi)壁應(yīng)清潔無積垢;
(2)不得隨意松開流量計(jì)的固定部分;
(3)安裝后不允許對流量計(jì)產(chǎn)生安裝應(yīng)力,以免損壞流量計(jì);
(4)流量計(jì)應(yīng)避免工作在強(qiáng)磁場干擾及劇烈振動(dòng)環(huán)境中;
(5)介質(zhì)流量應(yīng)穩(wěn)定,操作有關(guān)閥門時(shí)動(dòng)作要緩慢,切勿急開急關(guān)。
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