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半導(dǎo)體流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內(nèi)的流量傳感器芯片，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所開發(fā)的一款更緊湊的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機(jī)電流量芯片等，超高的集成度使該產(chǎn)品能夠縮小一半體積，可以更好的適用于空間要求嚴(yán)格的安裝場(chǎng)所。
根據(jù)控制原理，半導(dǎo)體流量控制器可以分為兩大類：
1、定流量控制器：這種流量控制器是用來(lái)控制氣體的流量在設(shè)定的范圍內(nèi)，不受其他因素的影響。它具有控制精度高、穩(wěn)定性好、操作簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
2、變量流量控制器：這種流量控制器可以根據(jù)設(shè)定的氣體流量以及實(shí)際的氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)，以保證氣體的流量在設(shè)定的范圍內(nèi)。它具有控制精度高、穩(wěn)定性好、操作簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)還可以根據(jù)實(shí)際需要自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體的流量。
根據(jù)使用場(chǎng)景，半導(dǎo)體流量控制器可以分為以下幾種類型：
1、防腐蝕流量控制器：這種流量控制器可以在腐蝕性環(huán)境下使用，具有較強(qiáng)的耐腐蝕性。
2、高精度流量控制器：這種流量控制器具有較高的控制精度，可以滿足高精度的氣體流量控制要求。
3、快速響應(yīng)流量控制器：這種流量控制器具有較快的響應(yīng)速度，可以滿足快速變化的氣體流量控制要求。
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