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陰極發(fā)光設(shè)備(SEM-CL)在光電與薄膜電池材料的針孔檢測方面的應(yīng)用

來源:北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司   2023年10月19日 14:43  

對于光伏(PV)和薄膜電池(TFB)來說,要在成本上與化石燃料和傳統(tǒng)電池競爭,高制造成品率至關(guān)重要。CdTe/CdS和CdS/CIGS光伏器件的CdS層以及tbs的LiPON層的針孔導(dǎo)致良率損失和性能降低。掃描電鏡(SEM)平面視圖分析沒有深度分辨率來確定孔是否穿透一層。

Attolight CL技術(shù)的優(yōu)勢在于:

  • 通過對單元過程進(jìn)行針孔檢測,縮短了開發(fā)時(shí)間;可以比較工藝變量和沉積方法對針孔形成的影響。

  • 在針孔檢測過程中評估缺陷密度和成分梯度。

  • 快速自動(dòng)繪圖:65秒內(nèi)完成25 μm × 25 μm面積的繪圖。

Application-Pinhole-Detection-final-1.jpg


CL通過檢測來自底層的光來檢測針孔,如下圖所示:


下面的SEM圖像和CL圖顯示了該技術(shù)在SnO2化學(xué)鍍液沉積的CdS上的針孔的實(shí)際應(yīng)用。發(fā)射圖譜如下:

  • CdS(掃描電鏡中的光區(qū)):綠色(帶隙)和紅色(中隙缺陷狀態(tài))。

  • 針孔(SEM中的黑色區(qū)域):藍(lán)色(中間隙缺陷狀態(tài))來自孔底部的SnO2。

圓對應(yīng)于單個(gè)CL點(diǎn)。圓直徑=電子相互作用體積(100 nm@5keV)。



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