超景深顯微鏡,是一種連續(xù)變倍的光學(xué)顯微鏡,景深比較大是它的特色,在它的景深范圍內(nèi)都能清晰地看到檢測(cè)對(duì)象,檢測(cè)視域范圍更廣,工作距離更長(zhǎng),還能進(jìn)行3D測(cè)量,是集光學(xué)技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)及電子顯示技術(shù)于一體的產(chǎn)品。
超景深顯微鏡是一種新的顯微鏡技術(shù),其大的特點(diǎn)就是可以在深度方向上實(shí)現(xiàn)超深度成像。與傳統(tǒng)的顯微鏡不同,超景深顯微鏡能夠穿透樣本的厚度,顯示出在靠近和離遠(yuǎn)鏡片表面深度處的具體信息。這種技術(shù)基于光的波動(dòng)性,通過(guò)特殊的算法處理和計(jì)算,使得圖像具有高分辨率,為生物科學(xué)、材料科學(xué)、電子工程等領(lǐng)域提供了更加精密的研究工具。
如在在材料科學(xué)、半導(dǎo)體等領(lǐng)域中,白光干涉儀與共聚焦顯微鏡同為微納檢測(cè)的利器,但白光擅長(zhǎng)亞納米級(jí)光滑表面的檢測(cè),追求檢測(cè)數(shù)值的準(zhǔn)確;而共聚焦擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè),能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。
超景深顯微鏡會(huì)采用特殊的光源和照明系統(tǒng),以此確保樣品在較大的深度范圍內(nèi)得到均勻照明。其次顯微鏡會(huì)通過(guò)使用特殊的光學(xué)元件,例如透鏡、液晶空間光調(diào)制器等等,以實(shí)現(xiàn)對(duì)光波前的編碼,從而改變光的傳播特性,這樣可以在一定范圍內(nèi)增加景深,使不同深度的樣品部分同時(shí)清晰可見(jiàn)。
另外超景深顯微鏡中的光學(xué)透鏡系統(tǒng)中包含了一些特殊設(shè)計(jì)的元件,這些元件可以提升顯微鏡在深度方向的解析能力,涉及使用非球面透鏡、多層透鏡組合等等。
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