質(zhì)量流量控制器應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量？

客戶在使用易度氣體流量控制器（MFC）時(shí)反映有這樣的問(wèn)題：剛通氣時(shí)流量會(huì)瞬間達(dá)到可測(cè)量的最大值并顯示告警信息，然后又迅速穩(wěn)定到設(shè)定值，客戶覺(jué)得易度MFC有很嚴(yán)重的超調(diào)過(guò)沖問(wèn)題。經(jīng)過(guò)與客戶詳細(xì)交流后發(fā)現(xiàn)，客戶是先將MFC設(shè)定流量，再開(kāi)啟截止閥給管路通氣。MFC在使用過(guò)程中到底應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量呢？

圖：常見(jiàn)MFC連接方式

我們先來(lái)看MFC的工作原理。

MFC通過(guò)流量測(cè)量部分測(cè)量氣體流量，并根據(jù)測(cè)量值發(fā)出反饋信號(hào)調(diào)節(jié)閥門開(kāi)口大小，達(dá)到控制流量的目的。當(dāng)測(cè)量的流量小于設(shè)定流量時(shí)，就會(huì)增加閥門開(kāi)口度，讓氣體流量增加，反之亦然。

圖：MFC工作示意簡(jiǎn)圖

了解了MFC的工作原理，再來(lái)看客戶遇到的問(wèn)題就容易理解了。

在不通氣的情況下，將MFC設(shè)定流量后，流量傳感器檢測(cè)流量為零，小于設(shè)定值，于是微處理器發(fā)出信號(hào)將閥門開(kāi)大，再檢測(cè)流量，發(fā)現(xiàn)流量仍然是零，仍然小于設(shè)定值。微處理器只能繼續(xù)發(fā)出控制信號(hào)直到將閥門開(kāi)到最大并保持這個(gè)狀態(tài)。這時(shí)打開(kāi)截止閥，氣體瞬間開(kāi)始流動(dòng)起來(lái)，而此時(shí)閥門開(kāi)到了最大，氣體就會(huì)以一個(gè)很大的流量值流過(guò)MFC。MFC檢測(cè)到流量超過(guò)了設(shè)定值，于是控制閥門開(kāi)口度減小，將實(shí)際流量穩(wěn)定在設(shè)定值。這就是先設(shè)流量再通氣時(shí)MFC的實(shí)際工作過(guò)程。

這并不是MFC本身的問(wèn)題，而是在使用MFC時(shí)的操作順序問(wèn)題。正確的操作順序是先通氣，再設(shè)流量。

先通氣時(shí)，由于易度MFC是自主研發(fā)的閥門，具有截止能力，能夠?qū)㈤y門關(guān)閉，因此并不會(huì)有流量產(chǎn)生。這時(shí)設(shè)定流量，MFC打開(kāi)閥門，將流量從零迅速調(diào)整到設(shè)定值，達(dá)到精確控制流量的目的。