半導(dǎo)體SEMI F57中金屬元素和總有機碳分析解決方案

前言

自1947年第一塊晶體管誕生，人類從此步入了飛速發(fā)展的電子時代。經(jīng)歷70多年的發(fā)展，半導(dǎo)體技術(shù)不僅在先進科研領(lǐng)域，也早已與人們的日常生活密不可分，如半導(dǎo)體芯片、智能汽車、智慧電網(wǎng)、5G通信、航空航天、國防、醫(yī)療衛(wèi)生等等。

1 挑戰(zhàn)

半導(dǎo)體中雜質(zhì)的存在使嚴格按周期性排列的原子所產(chǎn)生的周期性勢場受到破壞，這對半導(dǎo)體材料的性質(zhì)產(chǎn)生決定性的影響。因此，痕量水平半導(dǎo)體行業(yè)無機雜質(zhì)和有機污染物的檢測是操作過程中的一項重大挑戰(zhàn)。

什么是有機雜質(zhì)? 有機雜質(zhì)，也被稱為有機污染物，其存在可能會導(dǎo)致晶圓表面產(chǎn)生非預(yù)期的疏水性質(zhì)、增加表面的粗糙度、產(chǎn)生霧化表面、和破壞外延層的生長，且在未先移除污染物的情況下，也會影響金屬污染的清洗效果。粒子污染則可能導(dǎo)致在蝕刻及微影工藝中，產(chǎn)生阻塞或遮蔽效應(yīng)；在薄膜成長或沉積過程中，產(chǎn)生針孔和微孔，若粒子顆粒較大且具有導(dǎo)電性，甚至?xí)?dǎo)致線路短路。半導(dǎo)體元件生產(chǎn)過程中產(chǎn)生廢品的原因，50%是由清洗試劑以及材料內(nèi)部的污染元素造成的！

2 解決方案

通過配置高靈敏PlasmaQuant MS ICP-MS和濕法multi N/C UV HS總有機碳分析儀，可以滿足SEMI F57中對于金屬元素及總有機碳檢測的所有需求，簡單、快捷、可靠！

 

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2. 總有機碳分析：multi N/C UV HS 總有機碳分析儀（TOC）

• 強氧化消解能力保證樣品完全氧化，254nm和185nm雙波長高能量紫外反應(yīng)池。

• 全量程高聚焦NDIR檢測器，0-10000ppm測量范圍，無需量程轉(zhuǎn)換。自動漂移校正、補償， 無需任何稀釋，免維護檢測器，滿足潔凈及污染任何狀態(tài)下樣品分析。

• 較強的抗干擾能力，避免其他雜質(zhì)共存干擾。

• 高靈敏度，高達20mL進樣體積，靈活調(diào)節(jié)靈敏度，擴展應(yīng)用范圍。

• 免維護帕爾貼干燥單元，無需模式干燥器及化學(xué)干燥劑，節(jié)省成本，操作更為簡便。

• VITA流速管理系統(tǒng)，實時提供流速補償消除波動，得到絕對可靠的分析結(jié)果，儀器長期穩(wěn)定，一年內(nèi)無需反復(fù)校正。

• 較強的耐鹽能力，最高可允許85g/L含鹽樣品直接進樣分析。

3 小結(jié)

根據(jù)標準SEMI F57：用于超純水和液態(tài)化學(xué)品輸送系統(tǒng)的聚合物材料及組件的規(guī)范文件要求，評價半導(dǎo)體輸送管道的性能，鑒于浸泡液的成分多樣性，需要儀器具有較強的抗干擾能力，同時對于潔凈與污染的評估需求，需要儀器既具有高靈敏度，又具有寬范圍的能力。

?德國耶拿長期致力于金屬離子及總有機碳分析全套解決方案，深耕元素分析領(lǐng)域，積累眾多分析經(jīng)驗。德國品質(zhì)，追求創(chuàng)新，德國耶拿PlasmaQuant MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）和multi N/C UV HS總有機碳分析儀完全滿足SEMI F57標準中規(guī)定的22種金屬離子和總有機碳參數(shù)的檢測，助力半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展！