探頭故障現(xiàn)象、原因及排除方法
1、沉積期間厚度讀數大跳變
a. 不良晶片產生 解決方案:更換晶片
b. 晶片接近其使用壽命 解決方案:更換晶片
c. 晶片支承座表面有雜物 解決方案:用酒精或細砂皮清洗支承座
d. 來自濺射源的頻率干涉 解決方案: 檢查接地,儀器遠離濺射源
2、沉積期間晶體停振,但晶片壽命未到
a. 晶片被來自鍍膜源熔化材料小熔滴撞擊 解決方案:鍍膜起始階段用檔板遮蔽后移開
b. 不良晶片 解決方案: 更換晶片
c. 晶片支承座內腔表面有雜質 解決方案:清洗
3、晶體在真空中振蕩,單暴露空氣后停振
a.晶體接近使用壽命,暴露空氣導致薄膜氧化而引起薄膜壓力增加 解決方案: 更換晶片
b. 晶片積累了過多水分 解決方案:暴露空氣之前關掉探頭冷卻水
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