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超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運(yùn)用

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年01月19日 14:37

超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運(yùn)用

超微量水分計(jì)“FalconTrace”采用球型SAW傳感器，可定量測(cè)量工業(yè)氣體和天然氣中所含的微量水分子。

響應(yīng)速度極快，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)水分含量的變化，還可以測(cè)量水分含量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)?？梢跃_測(cè)量氣體中的水分濃度，低至 1 ppb（十億分之一）水平。

球聲表面波傳感器的測(cè)量原理

① 叉指換能器（IDT）產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán)，對(duì)所涂
敏感膜的微小變化做出反應(yīng) 通過異形電極進(jìn)行檢測(cè)
④ 通過積分微小變化實(shí)現(xiàn)高靈敏度傳感通過多次輪換。

介紹示例/應(yīng)用

半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商
（主要是前端工藝）
蓄電池制造商及其
材料制造商的制造流程
工業(yè)氣體制造商

產(chǎn)品陣容

響應(yīng)速度極快，可以在幾秒鐘內(nèi)監(jiān)控水分含量的變化，這對(duì)于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量非常有用。
無需重新配置每種背景氣體，當(dāng)天然氣等成分出現(xiàn)波動(dòng)時(shí)，可以同時(shí)檢測(cè)。另一個(gè)主要優(yōu)點(diǎn)是傳感器材料是水晶球，使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。

FT-700WT

該系列中的頂級(jí)型號(hào)，實(shí)現(xiàn)“超”微量水分測(cè)量

測(cè)量范圍廣泛的露點(diǎn)，從-110℃到-20℃
除了露點(diǎn)測(cè)量之外，還以%水平檢測(cè)背景氣體*的成分（相當(dāng)于平均分子量）
*背景氣體：水分含量測(cè)量的目標(biāo)氣體
該裝置涵蓋從天然氣到高純度氣體的所有氣體。

應(yīng)用實(shí)例

工業(yè)氣體制造過程和運(yùn)輸過程中的質(zhì)量控制、半導(dǎo)體制造材料氣體的純度控制

FT-400WT

中檔型號(hào)，可實(shí)現(xiàn)中檔實(shí)時(shí)測(cè)量。

1秒內(nèi)測(cè)量從-90℃起的露點(diǎn)變化，非常適合測(cè)量實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)
也可以更改為設(shè)備內(nèi)置型*
*請(qǐng)聯(lián)系我們。

應(yīng)用實(shí)例

一般生產(chǎn)線的質(zhì)量控制、電池制造過程中的水分含量監(jiān)測(cè)

FT-300WT

小型通用機(jī)型，在保持高速響應(yīng)的同時(shí)強(qiáng)調(diào)便攜性。

1秒內(nèi)測(cè)量從-70℃起的露點(diǎn)變化，同時(shí)支持實(shí)時(shí)測(cè)量系統(tǒng)
輕而小，僅重2公斤，方便攜帶至目標(biāo)區(qū)域
由于電池供電，可在沒有市電的地方使用

應(yīng)用實(shí)例

干燥箱、空間水分分布、一般氣體

相關(guān)產(chǎn)品

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