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晶圓接觸角測量儀是為晶圓表面加工質(zhì)量檢測而設(shè)計的光學(xué)接觸角測試儀,提供晶圓表面接觸角和表面能分析,以評估附著力、清潔度和涂層。
晶圓接觸角測量儀采用CCD數(shù)字攝像機，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺，可進行工作臺上下、前后等方向移動。實現(xiàn)微量進樣及上下、左右精密移動。同時還設(shè)計了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺，能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié)，擴大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測試多次后的結(jié)果可以同時保存在同一報告下，能讓用戶更好的對材料數(shù)據(jù)進行管控。
晶圓接觸角測量儀用于測量液體對固體的浸潤性，通過測量液體對固體的接觸角，計算固體的表面自由能及液體的表面張力等指標，該儀器可自動測值和人工修整相結(jié)合，按測試→自動拍照→查找敏感點→計算接觸角值→顯示計算結(jié)果，整個過程無須人工干預(yù)，以降低人為因素影響?？蓮V泛用于測試各種液體對各種固體材料的接觸角，即通過測量液體與固體間所形成接觸角的大小，判斷液體對固體的浸潤性；也可測量和計算表面/界面張力、CMC、液滴形狀尺寸、表面自由能等。
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