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01
背景
如圖所示，芯片內(nèi)部有多種結(jié)構(gòu)，本次實(shí)驗(yàn)?zāi)康氖怯^察焊球的焊接點(diǎn)位是否有缺陷，即圖中位置1的焊球。由于樣品特別小，位置不易查找，所以本次實(shí)驗(yàn)采用徠卡的精研一體機(jī)對(duì)樣品進(jìn)行前處理，然后用徠卡三離子束切割儀切割到目標(biāo)位置，即焊球的中心位置。
02
實(shí)驗(yàn)步驟
首先用徠卡精研一體機(jī)把樣品研磨到離目標(biāo)位置大約30um左右的距離，如下圖所示，這是采用精研一體機(jī)上的體式鏡觀察到的圖像。在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中可以一邊研磨一邊觀察，看是否研磨到想要的位置。該體式鏡的分辨率可以達(dá)到7um，大部分焊球都可以在體式鏡上觀察到。
目標(biāo)位置，此時(shí)邊緣離目標(biāo)位置大約30um左右
然后使用徠卡三離子束切割儀將樣品切割到目標(biāo)位置，如下圖所示。由于離子束加工的深度有限，所以需要預(yù)先用機(jī)械方式處理到目標(biāo)位置附近，然后再用離子束切割的方式將機(jī)械研磨殘留的損傷去除，這樣可以有效排除制樣帶來(lái)的干擾因素，確保結(jié)果的真實(shí)有效性。
放大來(lái)看內(nèi)部焊球的情況，看是否有缺陷
03
結(jié)論
想要制備這類精細(xì)且目標(biāo)位置不易查找的樣品，我們推薦徠卡精研一體機(jī)和三離子束切割儀，這兩款設(shè)備能夠解決定位難，制樣復(fù)雜等難題，為電子組裝工藝可靠性研究提供有力幫助。
Leica精研一體機(jī) EM TXP
Leica 三離子束切割儀 EM TIC 3X
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