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X射線熒光光譜是一種廣泛應(yīng)用于元素分析的非破壞性測試技術(shù)。它基于X射線與物質(zhì)相互作用的原理，通過測量物質(zhì)中熒光輻射的能量和強(qiáng)度來確定樣品中的元素組成和含量。
利用X射線熒光分析原理對樣品中的元素進(jìn)行定性、定量分析?？梢詫K狀固體、壓型或松散粉末、熔融片、液體、金屬片、顆粒狀和薄膜樣品中含量>0.0001%的元素進(jìn)行分析，適用于鋼鐵、有色金屬及稀土冶金、水泥、石化、地質(zhì)、環(huán)境、生物、食品、電子材料、考古、珠寶無損檢測等領(lǐng)域。
X熒光光譜儀由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
XRF技術(shù)主要有兩種常見類型：能譜儀和熒光光譜儀。能譜儀使用固態(tài)探測器來測量不同能量范圍的X射線，并生成X射線能譜圖，然后根據(jù)能譜圖分析元素的存在和相對含量。熒光光譜儀則使用熒光體來轉(zhuǎn)換X射線為可見光，并通過光譜儀測量熒光光譜，從而分析元素的存在和含量。
當(dāng)材料暴露在短波長X光檢查，或伽馬射線，其組成原子可能發(fā)生電離，如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢，足以驅(qū)逐內(nèi)層軌道的電子，然而這使原子的電子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，在外軌道的電子會(huì)“回補(bǔ)”進(jìn)入低軌道，以填補(bǔ)遺留下來的洞。在“回補(bǔ)”的過程會(huì)釋出多余的能源，光子能量是相等兩個(gè)軌道的能量差異的。因此，物質(zhì)放射出的輻射，這是原子的能量特性。
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