高通量計(jì)量和檢測(cè)的污染控制智慧之道

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤

半導(dǎo)體、FPD 和 OLED 行業(yè)的污染控制

清潔度是半導(dǎo)體、FPD 和 OLED 制造行業(yè)的檢查人員很關(guān)心的問題，這一點(diǎn)關(guān)系到是否可以生產(chǎn)出功能正常的產(chǎn)品。因此，應(yīng)將檢測(cè)設(shè)備用于受控環(huán)境，如潔凈室。不允許灰塵從物鏡轉(zhuǎn)盤落到樣品上，如半導(dǎo)體晶圓。即使是微小的灰塵也會(huì)污染晶圓，破壞其功能，進(jìn)而影響產(chǎn)品產(chǎn)量。

我們帶真空功能的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤 (U-D5BDREMC-VA) 使用負(fù)壓吸力，可減少物鏡轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)時(shí)落下的細(xì)粒數(shù)量，并捕獲潤滑系統(tǒng)所用潤滑脂產(chǎn)生的任何氣體或灰塵。這種真空功能使我們的物鏡轉(zhuǎn)盤成為受控潔凈室環(huán)境的理想選擇。物鏡轉(zhuǎn)盤可用作半導(dǎo)體和FPD檢測(cè)設(shè)備的內(nèi)置顯微鏡模塊。

用于污染控制的帶真空功能的物鏡轉(zhuǎn)盤

用于半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)及其他用途的各種物鏡轉(zhuǎn)盤

我們提供各種物鏡轉(zhuǎn)盤，這些物鏡轉(zhuǎn)盤可集成到檢測(cè)、生產(chǎn)和研究領(lǐng)域的系統(tǒng)中。我們的選擇包含手動(dòng)和電動(dòng)選項(xiàng)。

• 手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤：該產(chǎn)品系列可以支持諸如明場(chǎng)、暗場(chǎng)和微分干涉對(duì)比 (DIC) 等觀測(cè)方法，可以容納四至七個(gè)物鏡，滿足 ESD 規(guī)范等。

• 帶編碼功能的物鏡轉(zhuǎn)盤：這種類型的手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤可以檢測(cè)轉(zhuǎn)盤的物鏡安裝孔位置。您可以使用軟件將物鏡的放大倍率信息與其在轉(zhuǎn)盤上的位置相匹配，使您能夠更快地將放大倍率信息添加到捕獲的圖像中，同時(shí)降低手動(dòng)數(shù)據(jù)輸入錯(cuò)誤的風(fēng)險(xiǎn)。

• 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤：這種類型的物鏡轉(zhuǎn)盤可以通過電動(dòng)方式移動(dòng)五個(gè)或六個(gè)物鏡。帶有真空功能的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤同樣已經(jīng)推出。

• 帶對(duì)中功能的物鏡轉(zhuǎn)盤：這種類型的物鏡轉(zhuǎn)盤可讓您通過手動(dòng)或電動(dòng)方式將物鏡的光軸對(duì)中。這樣可以改變物鏡轉(zhuǎn)盤的孔位置，以便針對(duì)每個(gè)物鏡的細(xì)微移動(dòng)進(jìn)行調(diào)整。最終將所有安裝的物鏡對(duì)準(zhǔn)。經(jīng)過調(diào)整，您會(huì)發(fā)現(xiàn)更換物鏡前后，中心位置是相同的。

• 物鏡支架轉(zhuǎn)接器：這款轉(zhuǎn)接器 (STM7-MMOBAD) 可讓您只使用一個(gè)物鏡。如果您的應(yīng)用不需要多個(gè)物鏡，那這是一種經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的選擇。請(qǐng)注意，這款轉(zhuǎn)接器（適配器）僅配備 RMS 螺絲 W26，并且沒有用于暗場(chǎng)照明的光路。

您只需將一個(gè)物鏡連接到支持多個(gè)物鏡的系統(tǒng)，物鏡適配器 (STM7-MMOBAD) 實(shí)現(xiàn)了靈活性。左側(cè)：使用物鏡適配器連接了一個(gè)物鏡。中間：連接轉(zhuǎn)盤前。右側(cè)：使用物鏡轉(zhuǎn)盤連接了多個(gè)物鏡。