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關(guān)于表面電阻率計(jì)的四端法和二端法

來(lái)源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2024年04月11日 17:12  

關(guān)于表面電阻率計(jì)的四端法和二端法


在實(shí)際測(cè)定樣品的體積電阻率時(shí),采用四端子法,

這是因?yàn)?,由于施加恒定電流(電流電極和樣品表面之間)的界面現(xiàn)象,會(huì)產(chǎn)生稱為接觸電阻的電壓降,

因此這樣做是為了消除這種現(xiàn)象并找到樣品的真實(shí)體積電阻率.這就是用的方法。

換句話說(shuō),在四端子方法中,通過(guò)將電流施加端子和電壓測(cè)量端子分開(kāi),

消除了接觸電阻的影響,并且可以進(jìn)行高精度測(cè)量。


此時(shí),電壓表的輸入阻抗必須保持較高,以免電流流入電壓測(cè)量端。

使用四探針?lè)ê投结樂(lè)▽?shí)際測(cè)量同一樣品(銅基導(dǎo)電涂膜)的電阻結(jié)果

[圖3.2.2 四探針?lè)ê投结樂(lè)ǖ碾娮柚当容^雙探針?lè)╙ 

如下所示。這種狀態(tài)也用等效電路表示[圖3.2.3 四端法和二端法的等效電路]。

在二端法中,可以看到由于接觸電阻的影響,電阻較高。這種接觸電阻很難定量測(cè)量,因?yàn)樗Q于樣品的表面狀況。


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