激光共聚焦顯微鏡用于測量復(fù)雜零件表面形貌及粗糙度

為什么要選擇共聚焦顯微鏡測粗糙度？
激光共聚焦顯微鏡作為一種高分辨顯微鏡，能夠?qū)Σ牧媳砻娴奈⒂^結(jié)構(gòu)進(jìn)行準(zhǔn)確、快速的測量，提供更準(zhǔn)確、全面的粗糙度信息。如VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，測量復(fù)雜零件表面形貌及粗糙度時，對大傾角的產(chǎn)品有更好的成像效果，能夠針對性解決許多測量問題：
1、對微小結(jié)構(gòu)或微紋理的材料表面
傳統(tǒng)的檢測方法往往無法準(zhǔn)確描述其粗糙度情況。而激光共聚焦顯微鏡能夠通過其高分辨率的成像能力，將微小結(jié)構(gòu)顯現(xiàn)出來，并進(jìn)行精確測量，有效解決了傳統(tǒng)方法的局限性。
2、對于曲面或非均勻材料表面
傳統(tǒng)方法往往受限于測量范圍有限、數(shù)據(jù)不全面等問題。而激光共聚焦顯微鏡能夠通過掃描技術(shù)獲取大面積的表面數(shù)據(jù)，并實現(xiàn)全面、準(zhǔn)確地描述曲面或非均勻材料的粗糙度特征。
3、對于材料限制
激光共聚焦顯微鏡還可應(yīng)用于多種材料的粗糙度檢測，包括金屬、陶瓷、塑料等材料，具有廣泛的應(yīng)用前景。
激光共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。它可以獲得高達(dá)亞納米級的空間分辨率（高度分辨率0.5nm；寬度分辨率1nm。），實現(xiàn)非接觸式、高分辨率的材料表面檢測，避免了傳統(tǒng)方法中可能引起表面損傷和污染的問題；具有的三維顯像功能，可以獲得材料表面的三維形貌信息，能夠精確地分析和量化表面的各項參數(shù)，為材料表面的粗糙度評價提供了更全面、細(xì)致的數(shù)據(jù)支持。