日本sumitomo住友化學(xué)超高純鋁用于顯示器、半導(dǎo)體材料、低溫傳熱材料等領(lǐng)域

超高純鋁純度高達(dá)99.9999%，用于平板顯示器、半導(dǎo)體布線材料、低溫區(qū)域傳熱材料等高性能領(lǐng)域。

高純度鋁由于通過(guò)表面處理得到介電常數(shù)及絕緣性優(yōu)異氧化被膜、雜質(zhì)元素及異物少、電及熱的傳導(dǎo)性高等原因，所以鋁作為鎳電解電容器用陽(yáng)極箔、硬盤基板、接合線、半導(dǎo)體或液晶面板用布線材料等電子用材料被廣泛地利用于用途。最近，利用低溫下優(yōu)異的物性，也用作超導(dǎo)穩(wěn)定化導(dǎo)體或熱傳導(dǎo)材料。本公司是高純鋁生產(chǎn)商，其技術(shù)和質(zhì)量長(zhǎng)期以來(lái)一直受到用戶的高度評(píng)價(jià)。本報(bào)告介紹高純度鋁的純化方法、低溫特性及應(yīng)用例。

通過(guò)在超高真空中溶解高純度鋁原料而進(jìn)行純化的方法稱為超高真空溶解純化法。其原理一般認(rèn)為是鋁和雜質(zhì)元素的飽和蒸汽壓差。在此，對(duì)以可進(jìn)行工業(yè)批量生產(chǎn)的本公司的6N鋁為原料進(jìn)行超高真空溶解純化的結(jié)果進(jìn)行敘述4），5）。將原材料加工成圓柱，配置在真空槽中的冷卻坩堝中。通過(guò)高頻加熱使原料在高真空中溶解，保持規(guī)定時(shí)間后，逐漸降低高頻功率使其凝固。溶解前到達(dá)真空度為3倍10–8 Pa，溶解中的真空度為3～6倍10-6 Pa。熔化后的試樣的外觀和截面如Fig.3所示。位置F的上部是通過(guò)真空溶解精制的區(qū)域，通過(guò)緩慢冷卻得到粗大的晶粒。高純度超過(guò)5N時(shí)，低于成分分析的定量下限的成分增加，雜質(zhì)合計(jì)值的標(biāo)記困難，因此，作為高純度的指標(biāo)使用殘留電阻比RRR（Residual ResistivityRatio）的情況較多。簡(jiǎn)單地說(shuō)明RRR，是低溫（一般為4.2K）下的導(dǎo)電率與室溫下的導(dǎo)電率之比，