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美國3m半導(dǎo)體電子氟化液FC-40的產(chǎn)品介紹
3M™ Fluorinert™ FC-40是一種不導(dǎo)電，熱力學(xué)和化學(xué)穩(wěn)定性好的液體，是理想的單相傳熱介質(zhì)，尤其適用于電子和半導(dǎo)體行業(yè)的檢測，化學(xué)汽相沉積，TFT生產(chǎn)透明、無色、不導(dǎo)電、不可燃、無殘留、具有熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性的液體，非常適用于許多傳熱流體應(yīng)用。其廣泛的液程（-57至165攝氏度）和高的材料兼容性使其非常適用于各種電子單相和雙相傳熱應(yīng)用，包括半導(dǎo)體市場的蝕刻機(jī)、離子植入機(jī)、測試機(jī)、CVD和TFT制造等。由于 FC-40 的沸程較窄，因此其成分隨時間變化很小，這將流體損失降至最的低，并確保傳熱的一致性。
產(chǎn)品亮點
熱穩(wěn)定性好 化學(xué)穩(wěn)定性好 液相范圍寬 不導(dǎo)電 沸程窄 兼容性
規(guī)格
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