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日本mitakakohki半導(dǎo)體非接觸式三維測(cè)量裝置NH-3SPs的介紹
日本mitakakohki半導(dǎo)體非接觸式三維測(cè)量裝置NH-3SPs的介紹
可處理大型工件的
非接觸式3D測(cè)量裝置
NH系列實(shí)現(xiàn)了高精度和易用性，
解決了過(guò)去的測(cè)量問(wèn)題。
?可在不損壞測(cè)量對(duì)象的情況下進(jìn)行測(cè)量
?擅長(zhǎng)測(cè)量陡峭的斜坡和大的凹凸不平
?直接測(cè)量鏡面和透鏡等透明物體
特征
1.非接觸式測(cè)量可防止探頭磨損
由于不存在非接觸式探頭磨損等連續(xù)變化，因此日常維護(hù)也更加容易。
2.可觀察測(cè)量點(diǎn)
始終可以觀察到測(cè)量點(diǎn)和工件表面的激光光斑。圖像處理可實(shí)現(xiàn)邊緣檢測(cè)和圓測(cè)量。
3.高精度、高剛性XY平臺(tái)
NH系列XY平臺(tái)基于“高精度識(shí)別=堅(jiān)固機(jī)構(gòu)”的理念，經(jīng)過(guò)精心加工和一一檢驗(yàn)，實(shí)現(xiàn)高精度運(yùn)行平行度。
4.出色的角度跟蹤
高靈敏度自動(dòng)對(duì)焦傳感器可捕獲表面的輕微反射光。能夠直接精確測(cè)量陡坡和臺(tái)階。
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