深度剖析samco紫外線臭氧清洗機裝置

來源：深圳九州工業(yè)品有限公司 2024年09月04日 15:00

深度剖析samco紫外線臭氧清洗機裝置

一、概述

該裝置是一種UV臭氧清洗機，可以對各種半導體工藝進行干燥處理?？梢赃M行有機物去除和表面改性，例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發(fā)生器和加熱臺，紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現(xiàn)高效的清潔和表面改性，而不會對基材造成電氣損壞。

二、特征

1.由于同時使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量，因此可以實現(xiàn)高效清潔。

2.離子或電子不會對元件造成損壞。

3.由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器，因此不需要臭氧處理設(shè)備。

4.由于大氣壓處理，不需要真空系統(tǒng)。

5.一鍵即可實現(xiàn)自動操作。

三、應(yīng)用實例

1.光刻膠灰化、圓盤

2.親水處理

3.硅、化合物半導體、晶體、ITO薄膜、透鏡等的清洗。

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

聯(lián)系我們