MKP氣體流量控制器VIC-D240

來源：深圳市現(xiàn)代豪方儀器儀表科技有限公司 2024年09月04日 15:22

MKP氣體流量控制器VIC-D240
MKP氣體流量控制器VIC-D240
吳經(jīng)理： 132.4667.5433

VIC-D240氣體流量控制器

特點：

因適用PTFE DISK，整個區(qū)間的回應(yīng)時間快

對毒性和腐蝕性氣體的耐久性大幅增加

采用浪涌及耐電壓保護(hù)電路

通過溫度補(bǔ)正，在周圍溫度變化下也可維持準(zhǔn)確度

產(chǎn)品配置

流量范圍(N2 標(biāo)準(zhǔn))：5sccm~2500slm

流量控制范圍：滿量程的2 ~ 10%

準(zhǔn)確度：滿量程的≤ ± 1%

回應(yīng)時間：≤ 1.0 sec (10 ~ 10%)

線性；滿量程的≤ ± 0.2%

運轉(zhuǎn)原理；熱式

控制閥形式；Normally Closed Solenoid

密封種類；Elastomer (Viton, Viton-ETP, Kalrez, etc.)

輸入輸出信號；模擬性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA

數(shù)字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)

MKP氣體流量控制器VIC-D240

MKP氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制；氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復(fù)性好。

電源供應(yīng)；+15VDC ~ +24VDC

運轉(zhuǎn)溫度；5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃)

連接器；Standard : D-SUB 9 pin Male

Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45

MKP氣體流量控制器VIC-D240

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