YP-150I半導體晶圓表面缺陷檢查燈原理應用
表面瑕疵燈用于人工檢測工件表面灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點。
檢測原理是:利用適合的LED 燈源,通過光學透鏡和濾光片折射出特殊的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識別出工件表面的瑕疵。
YP-150I 表面檢查燈 YP-250I
基本信息高強度鹵素光源裝置
超精密平面檢測的理想選擇!通過驚人的照明,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。
“YP-150I”是一種用于顯微觀察的照明裝置
用于檢測最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導體加工過程中勞動強度的一種。觀察晶圓和液晶板、玻璃表面、部件表面的瑕疵,廣泛應用于鏡片、液晶玻璃、手機屏幕、汽車玻璃,晶圓片、模具、汽車、手機保護膜、柔性基板、網(wǎng)版絲印等行業(yè)
表面的照度可超過 400,000 Lx。
另外,由于采用鹵素燈作為光源,色溫高,
光照不均勻的情況很少,光照強度穩(wěn)定銳利。
姊妹機“YP-250I”也可用于 8 英寸。
■ 光源采用鹵素燈
■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3
■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換
請用于超精密平面檢測!
高亮度鹵素光源裝置“YP-250I”是用于檢測劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。
采用鹵素燈作為光源,色溫高,減少照明不均,照明***穩(wěn)定銳利。
此外,本機為“YP-150I”的姊妹機,有螺旋槳風機型和管道風機型可供選擇,可根據(jù)應用進行使用。
YP-150I,可精確檢查到1um 以下的刮痕或微粒子,幾乎可檢測出所有塵埃。我們有不同強度及樣式的表面瑕疵檢測燈,如果是測試要求比較高的大半導體廠,可使用強度為30萬LX以上的檢查燈,如果是測試要求沒那么高的一般封測廠,可采用光源強度達 5萬LX的檢查燈。檢測燈使用壽命為2萬小時以上,比傳統(tǒng)的檢查燈壽命長且效用增強 10 倍。
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