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　　透氧性是指材料允許氧氣通過的能力，是材料性能的一個重要指標(biāo)。對于硅片而言，透氧性反映了其阻隔氧氣滲透的能力。

　　通過檢測硅片的透氧性，可以評估其在特定環(huán)境下的穩(wěn)定性和耐久性。高透氧性可能意味著硅片在含氧環(huán)境中容易受到氧化影響，從而影響其性能和使用壽命。

　　硅片等壓法透氧儀簡介

　　硅片等壓法透氧儀采用庫侖氧氣傳感器和等壓法測試原理，參照ASTM

　　D3985等標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造，適用于食品、藥品、醫(yī)療器械、日化、光伏、電子、工業(yè)品等領(lǐng)域的薄膜、片材、容器及相關(guān)材料的氧氣透過性能測試。

　　硅片等壓法透氧儀工作原理

　　將處理好的樣品裝夾于測試腔上，氧氣或空氣在薄膜的一側(cè)流動，高純氮氣在薄膜的另一側(cè)流動，氧分子穿過薄膜擴散到另一側(cè)中的高純氮氣中，被流動的氮氣攜帶至傳感器，通過對傳感器測量到的氧氣濃度進(jìn)行分析，達(dá)到滲透平衡后出具氧氣透過率測試數(shù)據(jù)。

　　保障產(chǎn)品質(zhì)量與安全性

　　在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)等高科技領(lǐng)域，硅片作為核心材料，其質(zhì)量直接關(guān)系到產(chǎn)品的整體性能和安全性。通過等壓法透氧儀的檢測，可以及時發(fā)現(xiàn)硅片在透氧性能方面的問題，從而采取相應(yīng)措施進(jìn)行改進(jìn)，確保產(chǎn)品質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)和客戶要求。這對于維護企業(yè)聲譽、提高市場競爭力具有重要意義。