FUJI-US富士工業(yè) 多成分濃度計(jì)FUD-1 MODEL-53

通過結(jié)合超聲波傳播速度和電導(dǎo)率來測量液體中 “3 種成分中 2 種成分的濃度”。超聲波在溶液中傳播的速度會(huì)受溶液的濃度和溫度影響，該濃度計(jì)利用這一特性，再結(jié)合電導(dǎo)率測量，經(jīng)過 CPU 演算處理得出濃度結(jié)果。

標(biāo)配模擬 DC4~20mA（2 系統(tǒng)）及數(shù)字 RS232C 輸出信號(hào)，方便與其他設(shè)備進(jìn)行連接和數(shù)據(jù)傳輸。

標(biāo)配測量錯(cuò)誤輸出和報(bào)警輸出，當(dāng)測量結(jié)果超出設(shè)定的上下限或出現(xiàn)異常時(shí)，可及時(shí)發(fā)出警報(bào)。

具備自診斷功能和錯(cuò)誤消息顯示，方便用戶快速排查和解決問題。

擁有輸出范圍設(shè)定、濃度顯示移動(dòng)平均、濃度顯示偏移及增益設(shè)定、故障安全、異常值消除、溫度時(shí)間常數(shù)校正等多種功能。

高精度測量：能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的連續(xù)測量，測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠，可滿足多種工業(yè)生產(chǎn)過程中對(duì)濃度精確控制的要求123。

免維護(hù)：儀器無需定期調(diào)整和校準(zhǔn)，沒有易磨損或老化的部件，減少了維護(hù)成本和工作量123。

易于安裝：小型、輕質(zhì)的單元式發(fā)射器可直接安裝在生產(chǎn)線上，且安裝時(shí)不需要進(jìn)行復(fù)雜的調(diào)整，操作簡便126。

實(shí)時(shí)輸出與反饋：可實(shí)時(shí)輸出測量結(jié)果，便于操作人員及時(shí)了解生產(chǎn)過程中的濃度變化，輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)過程的反饋控制126。

多種功能配置125：

在半導(dǎo)體制造工藝中，可用于 CMP 工序中的 CMP 漿料及氧化劑濃度管理、清洗過程中的清洗液濃度管理（如 HF+HNO?、HF+H?SiF?等）、蝕刻過程中的蝕刻液濃度管理（如 TMAH + 抗蝕劑、TMAH+Si 等）。

適用于金屬酸洗過程中的酸液濃度控制、化學(xué)工業(yè)中兩種混合化學(xué)品的濃度控制等其他工業(yè)生產(chǎn)過程中的多成分濃度監(jiān)測與管理。

電源：AC100V 至 240V 50/60Hz，30VA（也可使用 DC24V）。

環(huán)境溫度：轉(zhuǎn)換器為 0~50°C，RH85% 以下（無冷凝）；測量液體溫度一般為 0~100°C，特殊規(guī)格為 - 10~160°C（100°C 寬度）。

顯示：采用 LCD 顯示屏，可顯示濃度 1、濃度 2、溫度、聲速、電導(dǎo)率等各種參數(shù)。

輸出信號(hào)：模擬 DC4~20mA 有 2 個(gè)系統(tǒng)（可根據(jù)濃度值自由設(shè)定），數(shù)字 RS232C 可輸出濃度 1、濃度 2、聲速、溫度、電導(dǎo)率、錯(cuò)誤代碼等信息。

通道：高達(dá) 7 通道（校準(zhǔn)曲線）。

發(fā)射器：有 SA-20S29 + 電導(dǎo)率計(jì)、SA-20S27 + 電導(dǎo)率計(jì)等示例，振動(dòng)元件為 PZT（2MHz），測量元件為熱敏電阻，接液部件材質(zhì)采用 PFA 等，重量為 2.5kg，電纜專用電纜 6m，環(huán)境溫度 5~45°C，耐壓 0.3MPa，流量 5 升 / 分鐘（推薦）。