1. MEMS方法
傾斜傳感器利用 MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù),將電極排列在全封閉室內(nèi)。兩個桿中的一個是固定的,另一個桿可以通過連接到彈簧來自由移動。
測量標(biāo)準(zhǔn)是傾斜傳感器水平時的電容測量。當(dāng)傾斜傳感器傾斜時,自由端電極相對于固定端電極的位置發(fā)生變化,同時電容也會出現(xiàn)波動。有所不同。此時的電容差被轉(zhuǎn)換為角度。
2、電解法
使用電解質(zhì)技術(shù)的傾斜傳感器有兩對電極,安裝在與測量軸平行的室底部,并充滿電解質(zhì)。當(dāng)在兩極之間施加電壓時,電流形成色散場。結(jié)果,腔室傾斜并且液位發(fā)生變化,從而改變了分散場。
電解液的電導(dǎo)率是恒定的,電阻的變化取決于與液位的關(guān)系。此外,由于除電解液外沒有其他運動部件,因此磨損較少,抗沖擊性優(yōu)異。用于測量的電極浸入電解質(zhì)中,不會腐蝕。
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