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徠卡顯微鏡—近代干涉測試技術(shù)

來源:北京悅昌行科技有限公司   2012年05月08日 15:56  

徠卡顯微鏡—近代干涉測試技術(shù)

徠卡顯微鏡干涉原理在測試技術(shù)上的應用是大量的,其中有些已是我們所熟知的,本節(jié)介紹幾種近代光學測試領(lǐng)域里主要的雙光束干涉儀。闡明其光學系統(tǒng)原理及測試方法。

一、泰曼一格林干涉儀測試

泰曼一格林干涉儀實質(zhì)上是邁克爾遜干涉儀的一種變型,在近代的光學檢驗領(lǐng)域里,它是一種很重要的儀器,如圖1—16所示。它的獨持的物理性質(zhì)是:準單色點光源和透鏡Ll提供射的平面波(平行光束),干涉儀的一臂裝有參考反射鏡肘i,另一臂則裝上被測試的光學元件透鏡Lz使得全部通過孔徑的光都能進入位于12焦點處的觀察孔,所以能看到整個視場,即閉看到射I和肘z的任何一部分*干涉條紋可用目視觀察或用照相機(鏡頭應位于Lz的焦點處)軀干涉條紋拍攝下來進行分析。根據(jù)干涉條紋的變化,就可判斷被測光學元件的質(zhì)量。連續(xù)輸d的氛一氖氣體激光器是一個很好的光源。輸出功率為1mw的氦一氖氣體激光器,就足以在窒個干涉場上產(chǎn)生明亮而清晰的干涉條紋。激光器高度的時間相干性,使泰曼干涉儀進行大光琶差的測試成為可能,它不僅能適應各種靜態(tài)測試的要求,也能適應大位移的動態(tài)測量。激光勞紋的高亮度,還能縮短對條紋照相的曝光時間,因而能減少不希望有的振動效應。使用激光氫的泰曼一格林干涉儀是光學檢測中zui有效的工具之一。固1—16中所示的儀器是檢驗透鏡的丟曼一格林干涉儀,其中球面鏡肘:的曲率中心相被測透鏡的焦點重合。如果待測透鏡沒有便差,那么,返回到分束器的反射波將仍是平面的。然而,如果被測透鏡有球差、望差或像散引定波陣面的變形,那么就會清楚地看到具有畸變的一幅干涉條紋圖,并且可把干涉條紋拍攝下習進行分析。若把6fz換成平面鏡,就可以檢驗許多別的光學元件.如梭鏡,光學平板等。在對這些條紋圖進行解釋之后,光學檢驗人員就可據(jù)此指導進一步的加工(修光圈)。在制造非常精密9光學系統(tǒng),望運鏡,高空照相機等的時候,還可采用電子學方法來掃描干涉固,zui后的數(shù)據(jù)用食算機分析。計算機控制的描圖儀自動畫出表面的等高線圖,或者畫出被測元件產(chǎn)生畸變波陣目的三維透視圖。整個加工過程都可用這些力法來保證得到高質(zhì)量的光學元件和光學系統(tǒng)。

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