ACS200Gen3TE自動(dòng)涂膠顯影機(jī)SUSS MicroTec

ACS200Gen3TE自動(dòng)涂膠顯影機(jī)SUSS MicroTec

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ACS200 Gen3 TE涂膠顯影機(jī)：產(chǎn)能的全自動(dòng)平臺(tái)

SUSS ACS200 Gen3 TE平臺(tái)將ACS200 Gen3這款非常成功且市場熟知的產(chǎn)品提升到了一個(gè)新的高度。不僅在產(chǎn)能上有了顯巨提高，在操作和維護(hù)上也更加舒適。SUSS ACS200 Gen3 TE能夠提供非常靈活的模塊和技術(shù)配置，以滿足封裝、MEMS、LED和其他市場的要求，并為研發(fā)和HVM提供服務(wù)。

介紹：

基礎(chǔ)框架經(jīng)過重新設(shè)計(jì)，可配置多達(dá)6個(gè)旋轉(zhuǎn)工藝模塊，并可在這些模塊上方配置冷熱板組。此外，動(dòng)態(tài)對(duì)中（IMOC）功能的引入，即晶圓傳送時(shí)的“動(dòng)態(tài)”定心，進(jìn)一步提高了整體產(chǎn)能。

為了滿足的ESD標(biāo)準(zhǔn)，并為操作員和技術(shù)人員提供更高的舒適度，該平臺(tái)已經(jīng)進(jìn)行更新。第二屏幕可根據(jù)個(gè)人需要進(jìn)行配置，可以用來顯示攝像頭以及設(shè)備/模塊的狀態(tài)，并且可以處理測量數(shù)據(jù)。外圍配套設(shè)備也得到了顯著改進(jìn)，特別是新推出的Flexi Media Cabinet，整潔、標(biāo)準(zhǔn)化程度高。

由于采用PiXDRO技術(shù)的SUSS JETx噴墨模塊已集成到該平臺(tái)中，使得該平臺(tái)支持下一代材料沉積技術(shù)，且仍具有添加其他模塊的能力。同時(shí)，已經(jīng)引入了標(biāo)準(zhǔn)制造接口（SMIF）加載端口。此外，流量控制器系統(tǒng)為有機(jī)溶劑和顯影工藝應(yīng)用提供了非常出色的噴液精度。

ACS200 Gen3 TE平臺(tái)將繼續(xù)提供的敞開式腔體涂布和SUSS專有的GYRSET?閉蓋式涂布技術(shù)。廣為接受的腔體設(shè)計(jì)將保持不變，因此能夠?qū)崿F(xiàn)將工藝從之前的平臺(tái)到現(xiàn)在的輕松轉(zhuǎn)移。

亮點(diǎn)：

多達(dá)6個(gè)旋轉(zhuǎn)工藝模塊

采用動(dòng)態(tài)對(duì)中(IMOC)提高晶圓傳送效率

超高的配置靈活性

可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化系統(tǒng)的噴墨技術(shù)

操作舒適性高

標(biāo)準(zhǔn)制造接口(SMIF)負(fù)載端口

詳細(xì)情況 : 顯影工藝

浸置式顯影

噴霧顯影

在此工藝中，一定量的顯影劑被滴在曝光后的襯底上，并通過適度的旋轉(zhuǎn)分散開。 顯影液因其表面張力在晶圓上形成凸?fàn)畹囊好妫ā癙uddle”）。 當(dāng)顯影時(shí)間結(jié)束后，通過提高旋轉(zhuǎn)速度甩干晶圓上的顯影液。 然后，用去離子水沖洗晶圓并同樣提高轉(zhuǎn)速甩干。 這種方法的優(yōu)點(diǎn)是，只需使用少量顯影液，就能提供優(yōu)異的顯影結(jié)果。

浸置式顯影法不得用于顯影液達(dá)到飽和時(shí)，例如當(dāng)必須除去大量顯影后的光刻膠時(shí)或者凹凸圖形阻礙了更換顯影液時(shí)。 在這些情況下，需多步使用浸置式顯影或者使用噴涂式顯影 。

德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：

一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：

自動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE

半自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8

手動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8

二、噴墨打印機(jī)

JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)

三、光刻機(jī)

全自動(dòng)：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2

半自動(dòng)：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series

手動(dòng)：MJB4

四、測量系統(tǒng)

全自動(dòng):DSM8/200 Gen2

五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)

全自動(dòng)：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200

半自動(dòng)： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8

六、光掩模設(shè)備

全自動(dòng)：MaskTrack Pro系列、ASx Serie

半自動(dòng)：HMx Serie

七、投影掃描光刻機(jī)

全自動(dòng)：DSC300 Gen3

其他代理品牌匯總：韓國TRATOM、韓國GYROZEN、韓國inp、韓國Waveon、韓國Nasan

代理韓國TRATOM主要產(chǎn)品有 ：

壓阻式硅壓力傳感器、通用壓力表、壓力變送器、溫度傳感器、耐酸壓力變送器、差壓式壓力表、充汞溫度計(jì)、壓力儀表、防爆接點(diǎn)壓力表、氣體登記備用設(shè)備、溫度傳感器、壓阻式陶瓷壓力傳感器

TRATOM常用型號(hào):

MSP1000-PE-MF3/8-8K-D24、MSP-5000-PE-RP1/4-10K-D24、MSP-1000-PE-MF1/4-5K-D24、MSP1000-PE-MF1/2-8K-D2、MSP2000-PE-MF1/4-8K-D24、MSP-102，MSP-2000、MSI-MSP-2000

TRATOM主要型號(hào)：

一、通用壓力變送器

MSP-102、MSP-102D、MSP-102S、MSP-103、MSP-202、MSP-302、MSP-302D、MSP-310、

MSP-320、MSP-330、MSP-501、MSP-502、MSP-503、MSP-504、MSP-702、MSP-802

二、耐酸壓力變送器

MSP-1000、MSP-1010、MSP-1000-H、MSP-1000S、MSP-2000、MSP-2010、MSP-2000-H、MSP-3000、

MSP-3100、MSP-4000、MSP-4000S、MSP-5000TP、MSP-6000、MSP-2000、MSP-7010

三、半導(dǎo)體氣體用途壓力變送器

MSP-102-EX、MSP-5000

四、溫度傳感器

PT100、K-Type、MST-202、MST-501、MST-502、MST-702

五、壓力記錄儀

壓力記錄儀、MS-MANO100(數(shù)字壓力記錄儀)

六、ETC

MS-pH100、MS-PL100

韓國DAIHAN：

安全柜、生物安全柜、冰箱、冰柜、干燥柜、通風(fēng)柜、冷水機(jī)、冷卻循環(huán)器、離心機(jī)、超凈工作臺(tái)、PCR工作站、浴缸循環(huán)器、浴槽、蒸發(fā)器、冷凍干燥系統(tǒng)、熔爐、

加熱塊/干浴培養(yǎng)箱、加熱循環(huán)器、加熱套玻璃、實(shí)驗(yàn)室器皿清洗機(jī)、均質(zhì)機(jī)、電爐攪拌器、電爐、放大鏡、磨機(jī)、烤箱、攪拌器滅菌器，醫(yī)療用途、粘度計(jì)

韓國DAIHAN主營產(chǎn)品型號(hào)：

4~45℃ 20L迷你低溫培養(yǎng)箱；SL.Wat205柜廚式蒸餾水器；

WVB-30；DH.WHM12141；DH.WWP.RO280；高溫循環(huán)器：CH-8、CH-12、CH-22、CH-30；

WUF-11/21/31/41/51超低溫冰箱；WIS-10/10R/10RL恒溫振蕩培養(yǎng)箱；WIG-32/50/105/155；WVT-0.33M風(fēng)速計(jì)； 

HD-1200G通風(fēng)柜；LWQ流量計(jì)；DH.SWGC00450光照培養(yǎng)箱DH.WHM12141電熱套；DH.WGW0400；

DH.Frd00216冷凍干燥機(jī)；DH.WHD02521通風(fēng)柜、DH.WLCV1500潔凈臺(tái)、FD-8/FD-16冷凍干燥機(jī);HD-1200G通風(fēng)柜；

LWQ流量計(jì)；HB-R48套裝-干式恒溫器；

韓國GYROZEN：

一、離心機(jī)

微型離心機(jī)：1730R、1848R、1536、1524

高速離心機(jī)：1696R、1580R、1580、1248R、1248

落地式高速離心機(jī)：2236R、1736R、1236R

極速離心機(jī)：624R、416、406

二、離心濃縮機(jī)：

離心式真空濃縮器：VC2124、VC2200

冷凍干燥機(jī)：HC3110、HC3055

干式吹掃蒸發(fā)濃縮器：HyperVAP

三、二氧化碳培養(yǎng)箱：ARA P170

四、深層冷凍柜：ARA M系列

五、攪拌機(jī)和搖床：

ARA D-MS2、ARA D-VM2、ARA D-RT6、

ARA D-R8、ARA D-SD、ARA D-ST、ARA D-SR、ARA D-SO