MCS8手動噴涂系統(tǒng)德國SUSS MicroTec

MCS8手動噴涂系統(tǒng)德國SUSS MicroTec

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MCS8 手動噴涂系統(tǒng)：用于實驗室、初創(chuàng)企業(yè)和小批量生產(chǎn)的實驗室集群

蘇斯微技術公司的手動涂層系統(tǒng)（MSC8）以的集群配置提供了一代的涂層和水基開發(fā)技術。它的設計和組裝是為了在最小的潔凈室面積上提供的各種功能。因此，在SUSS MicroTec公司大批量生產(chǎn)工具中已經(jīng)證明了自己的技術可以通過MCS8為實驗室、初創(chuàng)企業(yè)和小規(guī)模生產(chǎn)提供服務。

亮點：

最小的潔凈室占地面積

范圍廣泛的選項，直至模塊級別

靈活的配置，超過500種可能性

一個供應和一個廢物管理制度

在SUSS HVM工具中經(jīng)過驗證的技術

MCS8由兩個獨立模塊的可定制框架組成?？蛻舾鶕?jù)他們的個人要求，從SUSS MicroTec公司的各種手動和半自動涂布機和水基顯影工具中選擇這兩個模塊。這些選擇包括SUSS LabSpin8、SUSS Hot Plate、SUSS Vapor Primer或主動冷卻的SUSS Cool Plate。這兩個單獨的模塊一前一后放置。這樣可以地利用潔凈室空間。為了使操作者獲得的人體工程學效果，后部模塊的高度被提高。

所有模塊都可以配備可選的功能，如LabSpins的自動分配系統(tǒng)或熱板的接近針。MCS8 LabCluster最多可由六個這種可定制的框架組成，每個框架包括兩個模塊。這使得總共有多達12個模塊的組合，從而提供了一個完整的工藝解決方案。通過最多兩個工具（如RCD8或AS8）將的鍍膜和顯影技術添加到集群中，MCS8可以在MEMS、III-V、電子束光刻、臨時鍵合、納米壓印、微流體和微光學等方面有廣泛的應用?？蛻艨梢愿鶕?jù)蘇斯微技術公司的經(jīng)驗為MCS8平臺配備各種配置，以獲得利益。

可用的選項包括：

用于涂布機的分裝系統(tǒng)

用于熱板的接近針和清洗選項

用于研發(fā)人員的溫度控制

范圍廣泛的卡盤

一個單一的廢物管理系統(tǒng)

工具和選項：

RCD8：這款的半自動涂布機和顯影機平臺以的可靠性和重復精度提供應用質(zhì)量。

AS8：用于高地形的**噴鍍工具可配備最多兩個獨立的噴霧分配系統(tǒng)。

HP8：用于均勻溫度分布的手動熱板以及具有高重復精度的加熱斜面確保了恒定和穩(wěn)定的工藝結果。

LABSPIN8：LabSpin系統(tǒng)可以實現(xiàn)**廣泛的應用，同時提供統(tǒng)一、精確和可重復的旋涂結果。

VP8：蒸氣底漆對晶圓表面進行準備，以改善表面條件，達到的抗蝕劑附著力。

CP8：主動冷卻的、基于配方的冷卻板提供了一個封閉的冷卻室，防止對晶圓的污染。

德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：

一、旋轉(zhuǎn)涂膠機和噴霧涂膠機：

自動涂膠機與顯影機：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE

半自動涂膠與顯影機：RCD8、ECD8

手動涂膠機與顯影機：LabSpin6 / LabSpin8

二、噴墨打印機

JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機

三、光刻機

全自動：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2

半自動：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series

手動：MJB4

四、測量系統(tǒng)

全自動:DSM8/200 Gen2

五、晶圓結合系統(tǒng)

全自動：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200

半自動： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8

六、光掩模設備

全自動：MaskTrack Pro系列、ASx Serie

半自動：HMx Serie

七、投影掃描光刻機

全自動：DSC300 Gen3

其他代理品牌匯總：韓國TRATOM、韓國GYROZEN、韓國inp、韓國Waveon、韓國Nasan

代理韓國TRATOM主要產(chǎn)品有 ：

壓阻式硅壓力傳感器、通用壓力表、壓力變送器、溫度傳感器、耐酸壓力變送器、差壓式壓力表、充汞溫度計、壓力儀表、防爆接點壓力表、氣體登記備用設備、溫度傳感器、壓阻式陶瓷壓力傳感器

TRATOM常用型號:

MSP1000-PE-MF3/8-8K-D24、MSP-5000-PE-RP1/4-10K-D24、MSP-1000-PE-MF1/4-5K-D24、MSP1000-PE-MF1/2-8K-D2、MSP2000-PE-MF1/4-8K-D24、MSP-102，MSP-2000、MSI-MSP-2000

TRATOM主要型號：

一、通用壓力變送器

MSP-102、MSP-102D、MSP-102S、MSP-103、MSP-202、MSP-302、MSP-302D、MSP-310、

MSP-320、MSP-330、MSP-501、MSP-502、MSP-503、MSP-504、MSP-702、MSP-802

二、耐酸壓力變送器

MSP-1000、MSP-1010、MSP-1000-H、MSP-1000S、MSP-2000、MSP-2010、MSP-2000-H、MSP-3000、

MSP-3100、MSP-4000、MSP-4000S、MSP-5000TP、MSP-6000、MSP-2000、MSP-7010

三、半導體氣體用途壓力變送器

MSP-102-EX、MSP-5000

四、溫度傳感器

PT100、K-Type、MST-202、MST-501、MST-502、MST-702

五、壓力記錄儀

壓力記錄儀、MS-MANO100(數(shù)字壓力記錄儀)

六、ETC

MS-pH100、MS-PL100

韓國DAIHAN：

安全柜、生物安全柜、冰箱、冰柜、干燥柜、通風柜、冷水機、冷卻循環(huán)器、離心機、超凈工作臺、PCR工作站、浴缸循環(huán)器、浴槽、蒸發(fā)器、冷凍干燥系統(tǒng)、熔爐、

加熱塊/干浴培養(yǎng)箱、加熱循環(huán)器、加熱套玻璃、實驗室器皿清洗機、均質(zhì)機、電爐攪拌器、電爐、放大鏡、磨機、烤箱、攪拌器滅菌器，醫(yī)療用途、粘度計

韓國DAIHAN主營產(chǎn)品型號：

4~45℃ 20L迷你低溫培養(yǎng)箱；SL.Wat205柜廚式蒸餾水器；

WVB-30；DH.WHM12141；DH.WWP.RO280；高溫循環(huán)器：CH-8、CH-12、CH-22、CH-30；

WUF-11/21/31/41/51超低溫冰箱；WIS-10/10R/10RL恒溫振蕩培養(yǎng)箱；WIG-32/50/105/155；WVT-0.33M風速計； 

HD-1200G通風柜；LWQ流量計；DH.SWGC00450光照培養(yǎng)箱DH.WHM12141電熱套；DH.WGW0400；

DH.Frd00216冷凍干燥機；DH.WHD02521通風柜、DH.WLCV1500潔凈臺、FD-8/FD-16冷凍干燥機;HD-1200G通風柜；

LWQ流量計；HB-R48套裝-干式恒溫器；

韓國GYROZEN：

一、離心機

微型離心機：1730R、1848R、1536、1524

高速離心機：1696R、1580R、1580、1248R、1248

落地式高速離心機：2236R、1736R、1236R

極速離心機：624R、416、406

二、離心濃縮機：

離心式真空濃縮器：VC2124、VC2200

冷凍干燥機：HC3110、HC3055

干式吹掃蒸發(fā)濃縮器：HyperVAP

三、二氧化碳培養(yǎng)箱：ARA P170

四、深層冷凍柜：ARA M系列

五、攪拌機和搖床：

ARA D-MS2、ARA D-VM2、ARA D-RT6、

ARA D-R8、ARA D-SD、ARA D-ST、ARA D-SR、ARA D-SO