AD12手動(dòng)顯影機(jī)德國(guó)SUSS MicroTec

AD12手動(dòng)顯影機(jī)德國(guó)SUSS MicroTec

詳詢請(qǐng)致電：吳工 132，4667.5433

介紹：

AD12系統(tǒng)可以滿足所有的噴淋顯影技術(shù)的需求，可用于直徑12英寸的圓片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。

也可以選裝晶圓清洗模塊。

亮點(diǎn)：

憑借多樣的噴液技術(shù)，在工藝通用性方面表現(xiàn)出色

專為水基工藝而設(shè)計(jì)

高安全性標(biāo)準(zhǔn)

介紹：

一、靈活性

AD12通過使用優(yōu)化的卡盤能夠處理許多不同種類的基材，從而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材（如InP、GaAs）也能被安全地處理。特殊的工具和廣泛的易于調(diào)整的工藝參數(shù)使AD12適用于許多涉及水介質(zhì)的工藝應(yīng)用。由于能夠?qū)?shù)進(jìn)行編程，如步進(jìn)時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、加速和減速、點(diǎn)膠臂位置和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，該系統(tǒng)可以優(yōu)化工藝流程，從而獲得可重復(fù)的、穩(wěn)定的工藝結(jié)果。AD12配備了SUSS MicroTec公司的點(diǎn)膠技術(shù)，有效地支持開發(fā)和清洗。

二、復(fù)雜的噴點(diǎn)技術(shù)

AD12為不同的工藝需求提供了廣泛的噴點(diǎn)技術(shù)?？梢赃\(yùn)行多種工藝：從簡(jiǎn)單的水坑或噴霧顯影，到需要浸泡和最后沖洗的水坑點(diǎn)膠，再到需要高壓將抗蝕劑和金屬升起的升華。上述所有的噴點(diǎn)技術(shù)都可以在AD12的噴點(diǎn)臂上配置。

三、智能溶劑型介質(zhì)系統(tǒng)

AD12是為處理水基介質(zhì)的特殊需求而定制的。所有與工藝化學(xué)品接觸的部件都由不易受影響的材料制成。排水口可以連接到室內(nèi)排水口或廢物罐。

介質(zhì)被安全地儲(chǔ)存在配備有排氣接口的介質(zhì)庫中，并由滲漏檢測(cè)器加以保護(hù)。流量控制系統(tǒng)和壓力調(diào)節(jié)器管理介質(zhì)?？梢赃x擇控制介質(zhì)溫度，以確保工藝效果?？梢园惭b介質(zhì)的再循環(huán)系統(tǒng)，以減少整個(gè)介質(zhì)的消耗。

四、操作簡(jiǎn)單、安全

AD12易于操作和維護(hù)。只需按下一個(gè)按鈕，就可以調(diào)用工藝參數(shù)和介質(zhì)數(shù)據(jù)?？删幊痰呐浞郊铀倭斯ぷ髁鞒?，促進(jìn)了重復(fù)性。所有部件都很容易接觸到，以方便操作和維護(hù)工具。此外，該工具的設(shè)計(jì)主要側(cè)重于操作員的安全。帶有自動(dòng)安全玻璃門的密封工藝室確保了封閉的工藝環(huán)境，便于對(duì)工藝進(jìn)行監(jiān)控。聯(lián)鎖傳感器保證了工具的安全運(yùn)行。

德國(guó)SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：

一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：

自動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE

半自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8

手動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8

二、噴墨打印機(jī)

JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)

三、光刻機(jī)

全自動(dòng)：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2

半自動(dòng)：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series

手動(dòng)：MJB4

四、測(cè)量系統(tǒng)

全自動(dòng):DSM8/200 Gen2

五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)

全自動(dòng)：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200

半自動(dòng)： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8

六、光掩模設(shè)備

全自動(dòng)：MaskTrack Pro系列、ASx Serie

半自動(dòng)：HMx Serie

七、投影掃描光刻機(jī)

全自動(dòng)：DSC300 Gen3

其他代理品牌匯總：韓國(guó)TRATOM、韓國(guó)GYROZEN、韓國(guó)inp、韓國(guó)Waveon、韓國(guó)Nasan

代理韓國(guó)TRATOM主要產(chǎn)品有 ：

壓阻式硅壓力傳感器、通用壓力表、壓力變送器、溫度傳感器、耐酸壓力變送器、差壓式壓力表、充汞溫度計(jì)、壓力儀表、防爆接點(diǎn)壓力表、氣體登記備用設(shè)備、溫度傳感器、壓阻式陶瓷壓力傳感器

TRATOM常用型號(hào):

MSP1000-PE-MF3/8-8K-D24、MSP-5000-PE-RP1/4-10K-D24、MSP-1000-PE-MF1/4-5K-D24、MSP1000-PE-MF1/2-8K-D2、MSP2000-PE-MF1/4-8K-D24、MSP-102，MSP-2000、MSI-MSP-2000

TRATOM主要型號(hào)：

一、通用壓力變送器

MSP-102、MSP-102D、MSP-102S、MSP-103、MSP-202、MSP-302、MSP-302D、MSP-310、

MSP-320、MSP-330、MSP-501、MSP-502、MSP-503、MSP-504、MSP-702、MSP-802

二、耐酸壓力變送器

MSP-1000、MSP-1010、MSP-1000-H、MSP-1000S、MSP-2000、MSP-2010、MSP-2000-H、MSP-3000、

MSP-3100、MSP-4000、MSP-4000S、MSP-5000TP、MSP-6000、MSP-2000、MSP-7010

三、半導(dǎo)體氣體用途壓力變送器

MSP-102-EX、MSP-5000

四、溫度傳感器

PT100、K-Type、MST-202、MST-501、MST-502、MST-702

五、壓力記錄儀

壓力記錄儀、MS-MANO100(數(shù)字壓力記錄儀)

六、ETC

MS-pH100、MS-PL100

韓國(guó)DAIHAN：

安全柜、生物安全柜、冰箱、冰柜、干燥柜、通風(fēng)柜、冷水機(jī)、冷卻循環(huán)器、離心機(jī)、超凈工作臺(tái)、PCR工作站、浴缸循環(huán)器、浴槽、蒸發(fā)器、冷凍干燥系統(tǒng)、熔爐、

加熱塊/干浴培養(yǎng)箱、加熱循環(huán)器、加熱套玻璃、實(shí)驗(yàn)室器皿清洗機(jī)、均質(zhì)機(jī)、電爐攪拌器、電爐、放大鏡、磨機(jī)、烤箱、攪拌器滅菌器，醫(yī)療用途、粘度計(jì)

韓國(guó)DAIHAN主營(yíng)產(chǎn)品型號(hào)：

4~45℃ 20L迷你低溫培養(yǎng)箱；SL.Wat205柜廚式蒸餾水器；

WVB-30；DH.WHM12141；DH.WWP.RO280；高溫循環(huán)器：CH-8、CH-12、CH-22、CH-30；

WUF-11/21/31/41/51超低溫冰箱；WIS-10/10R/10RL恒溫振蕩培養(yǎng)箱；WIG-32/50/105/155；WVT-0.33M風(fēng)速計(jì)； 

HD-1200G通風(fēng)柜；LWQ流量計(jì)；DH.SWGC00450光照培養(yǎng)箱DH.WHM12141電熱套；DH.WGW0400；

DH.Frd00216冷凍干燥機(jī)；DH.WHD02521通風(fēng)柜、DH.WLCV1500潔凈臺(tái)、FD-8/FD-16冷凍干燥機(jī);HD-1200G通風(fēng)柜；

LWQ流量計(jì)；HB-R48套裝-干式恒溫器；

韓國(guó)GYROZEN：

一、離心機(jī)

微型離心機(jī)：1730R、1848R、1536、1524

高速離心機(jī)：1696R、1580R、1580、1248R、1248

落地式高速離心機(jī)：2236R、1736R、1236R

極速離心機(jī)：624R、416、406

二、離心濃縮機(jī)：

離心式真空濃縮器：VC2124、VC2200

冷凍干燥機(jī)：HC3110、HC3055

干式吹掃蒸發(fā)濃縮器：HyperVAP

三、二氧化碳培養(yǎng)箱：ARA P170

四、深層冷凍柜：ARA M系列

五、攪拌機(jī)和搖床：

ARA D-MS2、ARA D-VM2、ARA D-RT6、

ARA D-R8、ARA D-SD、ARA D-ST、ARA D-SR、ARA D-SO