DIGIMICRO - 數(shù)顯高度計(jì) -

MF-501

使用說(shuō)明書(shū)

3rd Edition July 2024 ch

i

感謝購(gòu)買(mǎi)尼康產(chǎn)品。

本使用說(shuō)明書(shū)面向尼康“數(shù)顯高度計(jì) MF-501”的用戶。

使用前請(qǐng)仔細(xì)閱讀本使用說(shuō)明書(shū)，正確進(jìn)行使用。

• 禁止擅自對(duì)本使用說(shuō)明書(shū)的全部或者部分內(nèi)容進(jìn)行轉(zhuǎn)載。

• 本使用說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容將來(lái)可能未經(jīng)預(yù)告而進(jìn)行變更。

• 本使用說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容力求做到，但萬(wàn)一存在不可理解之處，錯(cuò)誤或者在意之處，敬請(qǐng)與供貨商聯(lián)系。

• 使用外設(shè)機(jī)器時(shí)，請(qǐng)同時(shí)閱讀各機(jī)器的使用說(shuō)明書(shū)。

• 本使用說(shuō)明書(shū)中記載的產(chǎn)品及產(chǎn)品的技術(shù)（包括軟件）屬于《外匯及對(duì)外貿(mào)易法》等規(guī)定的限制貨物（包括技術(shù)）。

出口時(shí)請(qǐng)履行取得政府許可等適當(dāng)?shù)氖掷m(xù)。

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關(guān)于本書(shū)的警告／注意標(biāo)識(shí)

1

關(guān)于本書(shū)的警告／注意標(biāo)識(shí)

尼康產(chǎn)品在設(shè)計(jì)之時(shí)充分考慮了安全性。但是，使用方法錯(cuò)誤或者不遵守注意事項(xiàng)，仍可能導(dǎo)致事故，對(duì)人體及

物品等造成損害。使用產(chǎn)品之前，請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本使用說(shuō)明書(shū)，正確使用產(chǎn)品。并且，建議下載本使用說(shuō)明書(shū)，或

將本使用說(shuō)明書(shū)保存為網(wǎng)頁(yè)書(shū)簽，以便隨時(shí)可以閱讀。

本使用說(shuō)明書(shū)利用如下所示的警告標(biāo)識(shí)，強(qiáng)調(diào)“為了確保安全而需要特別注意的事項(xiàng)”。請(qǐng)務(wù)必遵守帶有標(biāo)識(shí)的指

示。

標(biāo)識(shí) 內(nèi)容

警告 表示如果不遵守附帶此標(biāo)識(shí)的指示，有可能導(dǎo)致死亡或者受重傷。

注意 表示如果不遵守附帶此標(biāo)識(shí)的指示，有可能導(dǎo)致受傷，或者給周圍的物品造成損害。

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警告 ／ 注意

警告

1. 產(chǎn)品的使用目的

本產(chǎn)品為精密計(jì)量設(shè)備，不建議將設(shè)備用于任何其他目的。

2. 請(qǐng)勿拆解，改造

請(qǐng)勿拆解或改造本產(chǎn)品，以免導(dǎo)致出現(xiàn)觸電及故障。發(fā)現(xiàn)異常之時(shí)，請(qǐng)與供貨商聯(lián)系。

3. 請(qǐng)勿淋水，勿使異物進(jìn)入

為了防止因故障或者短路導(dǎo)致出現(xiàn)異常發(fā)熱，請(qǐng)勿使本產(chǎn)品以及與本產(chǎn)品同時(shí)使用的產(chǎn)品被水淋，或

者異物進(jìn)入內(nèi)部。萬(wàn)一被水淋濕，或者紙片等異物進(jìn)入內(nèi)部，請(qǐng)立刻關(guān)閉外圍設(shè)備的電源，將 AC 適

配器的電源插頭從插座之中拔出。之后，請(qǐng)與供貨商聯(lián)系。切勿直接繼續(xù)使用。

4. 請(qǐng)勿過(guò)度折彎或者扭轉(zhuǎn)電源纜線及電纜類

請(qǐng)勿過(guò)度折彎或者扭轉(zhuǎn)電纜類。否則有可能導(dǎo)致纜線及電纜出現(xiàn)損壞，著火，引起火災(zāi)。

注意

1. 安裝或拆裝電纜類時(shí)，請(qǐng)關(guān)閉電源

為了防止發(fā)生故障或誤動(dòng)作，在安裝以及拆裝電纜類時(shí)，請(qǐng)務(wù)必關(guān)閉外圍設(shè)備的電源開(kāi)關(guān)。

2. 產(chǎn)品安裝，保管時(shí)的注意事項(xiàng)

• 安裝時(shí)請(qǐng)注意不要夾到手指及手掌。

• 本產(chǎn)品為精密裝置。為了防止故障以及保持精確度，使用時(shí)請(qǐng)充分加以注意，避免使其受到撞擊或

劇烈振動(dòng)。

• 長(zhǎng)期不使用時(shí)，請(qǐng)關(guān)閉外圍設(shè)備的電源開(kāi)關(guān)，將 AC 適配器的電源插頭從插座之中拔出。

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產(chǎn)品使用注意事項(xiàng)

1

產(chǎn)品使用注意事項(xiàng)

請(qǐng)謹(jǐn)慎使用

• 本產(chǎn)品為精密測(cè)量裝置。使用時(shí)請(qǐng)充分加以注意，避免使其受到過(guò)大的力和沖擊。

• 將本產(chǎn)品嵌入自動(dòng)裝置等中，進(jìn)行連續(xù)測(cè)量時(shí)，請(qǐng)將主軸的前端固定在測(cè)量面上，使主軸避免受到超出規(guī)定的

徑向載荷。否則將導(dǎo)致發(fā)生故障。

• 請(qǐng)避免僅利用于本產(chǎn)品的測(cè)量力追隨測(cè)量面。如果不能正確地對(duì)機(jī)械進(jìn)行追隨，則有時(shí)無(wú)法進(jìn)行正確的測(cè)量。

• 主軸的臟污會(huì)導(dǎo)致動(dòng)作不良，因此，附著臟污之時(shí)，請(qǐng)用干燥的抹布擦拭去除。

設(shè)置場(chǎng)所

請(qǐng)置于振動(dòng)較少的場(chǎng)所，避免在陽(yáng)光直射的場(chǎng)所，灰塵較多的場(chǎng)所，溫度變化劇烈的場(chǎng)所中使用。同時(shí)，本產(chǎn)品

的工作溫度為 0 ～ 40℃。請(qǐng)勿在不滿足該條件的環(huán)境下使用。

廢棄

廢棄本產(chǎn)品時(shí)，請(qǐng)遵循所在國(guó)家及地區(qū)的法令，通過(guò)合理方法實(shí)施。

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v

目　錄

目　錄

關(guān)于本書(shū)的警告／注意標(biāo)識(shí)?????????????????????????????????????????????????? ii

警告??????????????????????????????????????????????????????????????????? iii

注意??????????????????????????????????????????????????????????????????? iii

產(chǎn)品使用注意事項(xiàng)?????????????????????????????????????????????????????????? iv

1 各部分的名稱與功能????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 1

2 系統(tǒng)構(gòu)成??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 2

2.1 產(chǎn)品構(gòu)成????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 2

2.2 構(gòu)成示例????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 2

3 使用方法??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 3

3.1 一般的測(cè)量示例??????????????????????????????????????????????????????????????????????? 3

3.2 測(cè)量方向????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 4

3.3 測(cè)量頭??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 4

3.4 希望減小測(cè)量力時(shí)????????????????????????????????????????????????????????????????????? 4

4 選配??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 5

5 維護(hù)及檢查????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 6

6 性能及規(guī)格????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 7

7 輸出連接器????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 8

8 附件??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 8

9 修理??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 8

10 聯(lián)系信息??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 9

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1　各部分的名稱與功能

提升桿

用于用手移動(dòng)主軸之時(shí)。通過(guò)擰松提升桿

固定螺栓，可使其旋轉(zhuǎn)，在任意方向停止，

并可拆卸。

測(cè)量頭

測(cè)量頭安裝部位依照 JIS B 7503 的千分

表，可更換其他測(cè)量頭。并且，更換時(shí)請(qǐng)

注意避免強(qiáng)行使主軸旋轉(zhuǎn)，使其受到損傷。

主軸

外箱

為防止對(duì)性能造成不良影響，在安裝完固

定外殼后請(qǐng)勿轉(zhuǎn)動(dòng)儀器外箱。

柄部

安裝時(shí)，請(qǐng)?jiān)诖颂幑潭ā?/p>

圖 1 各部分的名稱

DIGIMICRO MF-501

MSIP-REM-NEc-MF501

JAPAN Nｏ. MADE　IN 30

63 100

42

232

69

SR1.2

??位?mm? 15

???? 200 +30

–10

圖 2 外形尺寸圖

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2　系統(tǒng)構(gòu)成

2.1 產(chǎn)品構(gòu)成

???????

MS-12C/MS-22S/

MS-32G/MS-41G

測(cè)量頭

??????栓

軸測(cè)量頭???

??器

MFC-200

MFC-101A?

??器

TC-200

TC-101A?

MF????

2m????

?停??

數(shù)顯高度計(jì)

MF-501

（注意）

　• 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量頭以外的計(jì)數(shù)器，數(shù)顯高度計(jì)支架，測(cè)量頭及電纜另售。

購(gòu)買(mǎi)時(shí)請(qǐng)咨詢購(gòu)買(mǎi)數(shù)顯高度計(jì)的代理商。

與其他設(shè)備的連接問(wèn)題敬請(qǐng)咨詢。

圖 3

2.2 構(gòu)成示例

TC-200 DIGIMICRO

RESET FUNC

POWER

OFF ON

??器

MFC-200

????

???????

????

??器

TC-200

????

MF????

2m????

?3,)狤狢狢?行??時(shí) ?:)狤狢狢?行??時(shí)

數(shù)顯高度計(jì)

MF-501

圖 4 與計(jì)數(shù)器進(jìn)行連接時(shí)

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3　使用方法

3.1 一般的測(cè)量示例

?螺栓?

??螺栓

??

提升桿

???????

????

???

??器

MFC-200

????

圖 5 在數(shù)顯高度計(jì)支架（另售）上安裝數(shù)顯高度計(jì) MF-501 以及計(jì)數(shù)器 MFC-200（另售）時(shí)

(1) 數(shù)顯高度計(jì)的固定

注意

• 固定數(shù)顯高度計(jì)時(shí)，請(qǐng)參照數(shù)顯高度計(jì)支架的使用說(shuō)明書(shū)。

• 請(qǐng)勿過(guò)于用力固定柄部。以免導(dǎo)致主軸移動(dòng)情況變差等故障。

• 請(qǐng)勿在未安裝數(shù)顯高度計(jì)的狀態(tài)下擰緊調(diào)高螺栓。以免導(dǎo)致數(shù)顯高度計(jì)支架及本產(chǎn)品發(fā)生故障。

數(shù)顯高度計(jì)的柄部利用數(shù)顯高度計(jì)夾螺螺栓擰緊固定。

進(jìn)行測(cè)量時(shí)，請(qǐng)務(wù)必將主體的柄部加以固定。

(2) 數(shù)顯高度計(jì)的移動(dòng)

注意

• 擰緊時(shí)，請(qǐng)扶著懸臂擰緊調(diào)高螺栓。如果不扶著懸臂，數(shù)顯高度計(jì)會(huì)連懸臂整個(gè)墜落。

數(shù)顯高度計(jì)連同懸臂整個(gè)移動(dòng)，直至數(shù)顯高度計(jì)的測(cè)量頭抵住數(shù)顯高度計(jì)支架的平臺(tái)，用手?jǐn)Q緊調(diào)高螺栓。

(3) 關(guān)閉電源

請(qǐng)關(guān)閉連接設(shè)備的電源。

本產(chǎn)品沒(méi)有電源。有關(guān)連接設(shè)備的電源操作，請(qǐng)分別參照各連接設(shè)備的使用說(shuō)明書(shū)。

(4) 歸零

測(cè)量頭抵住平臺(tái)，按動(dòng)計(jì)數(shù)器（另售）的復(fù)位開(kāi)關(guān)，進(jìn)行歸零。

零點(diǎn)復(fù)位的方法請(qǐng)參照計(jì)數(shù)器（另售）的使用說(shuō)明書(shū)。

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3　使用方法

(5) 打開(kāi)電源

請(qǐng)打開(kāi)連接設(shè)備的電源。

本產(chǎn)品沒(méi)有電源。有關(guān)連接設(shè)備的電源操作，請(qǐng)分別參照各連接設(shè)備的使用說(shuō)明書(shū)。

(6) 測(cè)量

（注意）

　• 如果測(cè)量頭的前端受到強(qiáng)烈沖擊力，則無(wú)法正確地進(jìn)行測(cè)量。

　• 移動(dòng)主軸的速度過(guò)快時(shí)會(huì)發(fā)生超速錯(cuò)誤。

　• 如果不對(duì)溫度及空氣之中的粉塵等也充分加以考慮，可能產(chǎn)生意想不到的誤差 ?

　• 對(duì)量塊等進(jìn)行了鏡面加工的平面進(jìn)行高精度測(cè)量之時(shí)，請(qǐng)準(zhǔn)備同一材質(zhì) ? 同一表面狀態(tài)的基準(zhǔn)面 ? 請(qǐng)對(duì)

此基準(zhǔn)面及測(cè)量物面充分加以清潔，使其緊密接觸，然后進(jìn)行測(cè)量 ?

請(qǐng)抓住提升桿的掛鉤，提起主軸，將測(cè)量物放置于主軸下方，然后慢慢地向下移動(dòng)主軸，輕輕地將測(cè)量頭抵

在希望進(jìn)行測(cè)量的面上。

3.2 測(cè)量方向

主軸可以往橫向及下方進(jìn)行移動(dòng)。但是，測(cè)量力根據(jù)方向及主軸的位置發(fā)生變化。

3.3 測(cè)量頭

可更換為符合 JIS B 7503 千分表的測(cè)量頭。

3.4 希望減小測(cè)量力時(shí)

僅使用向下方向時(shí)，測(cè)量力可以保持約 0.29N。希望進(jìn)行上述改造的用戶，請(qǐng)向該產(chǎn)品的銷售商提出要求。

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4　選配

圖 3，圖 4 所示各項(xiàng)為選配。

• 測(cè)量頭（另售）

除了標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量頭之外，還準(zhǔn)備了如圖 6 所示的測(cè)量頭。

??位?mm?

?栓測(cè)量頭 ???測(cè)量頭 ??測(cè)量頭

??測(cè)量頭 ?軸測(cè)量頭

????

??

圖 6

• 數(shù)顯高度計(jì)支架（另售）

MS-12C 最大測(cè)量高度約　150mm 平臺(tái)的大小　111mm X 111mm

MS-22S 最大測(cè)量高度約　200mm 平臺(tái)的大小　150mm X 150mm

MS-32G 最大測(cè)量高度約　170mm 平臺(tái)的大小　120mm X 180mm

MS-41G 最大測(cè)量高度約　290mm 平臺(tái)的大小　400mm X 300mm

• 計(jì)數(shù)器（另售）

MFC-200

TC-200

• 延長(zhǎng)電纜（另售）

MF 延長(zhǎng)電纜 2m

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5　維護(hù)及檢查

推測(cè)是否發(fā)生故障之前，請(qǐng)對(duì)下列項(xiàng)目再次進(jìn)行檢查。

表 1

癥　狀 檢　查

• 主軸卡住。

• 主軸突然變重。

• 主軸上是否有臟污 ?

• 是否向主軸過(guò)度施加了徑向載荷 ?

• 柄部是否擰得過(guò)緊 ?

• 測(cè)量誤差較大。

• 重現(xiàn)性不良。

• 測(cè)量頭有無(wú)松動(dòng) ?

• 柄部有無(wú)松動(dòng) ?

• 數(shù)顯高度計(jì)，數(shù)顯高度計(jì)支架等的設(shè)置狀態(tài)是否存在問(wèn)題 ?

• 是否對(duì)數(shù)顯高度計(jì)施加了載荷？

• 出現(xiàn)計(jì)數(shù)錯(cuò)誤。

• 頻繁顯示“Error X”。

• 計(jì)數(shù)器的電源開(kāi)關(guān)是否打開(kāi) ?

• 數(shù)顯高度計(jì)與計(jì)數(shù)器是否得到切實(shí)連接 ?

• 移動(dòng)速度是否恰當(dāng) ?

• 附近是否有較大的干擾發(fā)生源呢 ?

• 電纜是否存在異常 ?

• 是否使用了專用的 AC 適配器 ?

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6　性能及規(guī)格

推薦最小讀取值 ：0.1 μm

測(cè)量范圍 ：50 mm

精度 ：1 μm（20℃）

響應(yīng)速度（0.1μm 解析時(shí)） ：500 mm/s 以下

測(cè)量方向 ：任意

測(cè)量力 ：向下　1.13 ～ 1.62N（可以改造為約 0.29N。請(qǐng)向購(gòu)買(mǎi)的銷售商申請(qǐng)。）

橫向　0.64 ～ 1.23N

重量 ：0.31 Kg

主軸容許載荷 ：徑向 0.98N（100gf）

螺栓扭矩（4.9mN•m）

測(cè)量頭 ：符合 JIS B 7503 千分表的測(cè)量頭

溫度 ：使用時(shí)　0 ～ 40℃

保管時(shí)　-20 ～ 60℃

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7　輸出連接器

• 型號(hào) ：RP17A-13P-12PC（廣瀨電機(jī)株式會(huì)社）

12 極圓形插頭

• 適合插座 ：RP17A-13RA-12SD（廣瀨電機(jī)株式會(huì)社）

表 2 管腳配置及信號(hào)名稱

管腳編號(hào) 信號(hào)名 內(nèi)容 管腳編號(hào) 信號(hào)名 內(nèi)容

1 FG 機(jī)架接地 7 N.C. OPEN

2 N.C. 打開(kāi) 8 N.C. OPEN

3 A 信號(hào) A 相 9 L+ LED 電源

4 Vref 信號(hào)中心水平 10 0V 電源 0V

5 B 信號(hào) B 相 11 Vcc 電源 +12V

6 Vref 信號(hào)中心水平 12 0V 電源 0V

8　附件

• 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量頭 ：1 個(gè)

• 提升桿 ：1 個(gè)

• 為了你的安全 ：1 份

• 產(chǎn)品保修單 ：1 份

9　修理

修理時(shí)請(qǐng)咨詢供貨商。

保修內(nèi)修理

• 附有產(chǎn)品保修單，并且屬于在保修期內(nèi)（銷售后 1 年以內(nèi)）發(fā)生的自然故障

• 從上一次修理交付日起的 6 個(gè)月以內(nèi)，在正常使用過(guò)程中同一部位發(fā)生故障，并且保有上一次修理表

除此以外的情況不屬于保修內(nèi)修理。請(qǐng)妥善保管產(chǎn)品保修單以免丟失。

供貨商。

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10　聯(lián)系信息

表 3 聯(lián)系信息

地區(qū) 公司名稱 地址 電話

圓松（成都）精密儀器設(shè)備有限公司 成都市高新西區(qū)雙柏路6號(hào)6棟14號(hào)

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10產(chǎn)品中有害物質(zhì)的名稱及含量

環(huán)保

使用期限 部件名稱

有害物質(zhì)成元素

鉛 汞 鎘 六價(jià)鉻 多溴聯(lián)苯 多溴二苯醚

（Pb） （Hg） （Cd） （Cr( Ⅵ )） （PBB） （PBDE）

15

MFC 計(jì)數(shù)器

MF-501

× ○ ○ ○ ○ ○

表格內(nèi)容基于　SJ/T11364-2014 相關(guān)規(guī)定制成。

○ ：表示該有害物質(zhì)在該部件所有均質(zhì)材料中的含量均在 GB/T26572-2011 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的要求以下。

× ：表示該有害物質(zhì)至少在該部件的某一均質(zhì)材料中的含量超出 GB/T26572-2011 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的要求。

環(huán)保使用期限

　此標(biāo)志的數(shù)字是根據(jù)中華人民共和國(guó)電器電子產(chǎn)品有害物質(zhì)限制使用管理辦法以及有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)等，表示該產(chǎn)品的環(huán)保使用期

限的年數(shù)。

　遵守產(chǎn)品的安全和使用上的注意，在產(chǎn)品使用后采取適當(dāng)?shù)姆椒ǜ鶕?jù)各地法律，規(guī)定，回收再利用或進(jìn)行廢棄處理。