主機(jī)是便攜式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀XPS-7II
目標(biāo)氣體 半導(dǎo)體氣體
檢測(cè)原理 電化學(xué)、電化學(xué)+裂解器
取樣方法 萃取
質(zhì)量 約1.3公斤
通過更換傳感器單元,可以檢測(cè)各種半導(dǎo)體氣體。
用于有毒氣體半導(dǎo)體工廠的氣體泄漏檢查和濃度測(cè)量。
特點(diǎn):
■ 世界上*小的便攜式氣體檢測(cè)儀,用于 NF3 檢測(cè)。無需任何可選設(shè)備即可檢測(cè) NF3。
■ 校準(zhǔn)后的氣體傳感器單元可在現(xiàn)場(chǎng)更換,減少維護(hù)工作。
■ 大液晶屏
■ 2路電源:干電池和交流電源(可選)
■ 小巧輕便
■ 警報(bào)聲音的速度根據(jù)氣體濃度而變化。
可選測(cè)量氣體:
氨[NH3],硅烷[SiH4],二氯硅烷[SiH2Cl2],砷烷[AsH3],膦[PH3],硒化氫【H2Se】,鍺烷【GeH4】,氯[Cl2],氯化氫【HCI】,氫氟化物【HF],溴化氫【HBr】,一氧化氮【NO】,硫化氫【H2S】,一氧化碳【CO】,二硅烷【Si2H6】,氟【F2】,臭氧【O3】,三氟化氮【NO3】
中崎目前已獲得CCS晰寫速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克、REVOX萊寶克斯、ORIHARA折原、SONIC索尼克、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學(xué)、SIBATA柴田科學(xué)、HORIBA堀場(chǎng)、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、NPM日脈、AND艾安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業(yè)、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達(dá)、HAKKO白光、TOHNICHI東日、NITTO KOHKI日東工器等多家品牌授權(quán)認(rèn)證。
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