手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
KAKUHUNTER寫真化學(xué)測(cè)繪測(cè)量膜厚儀
KAKUHUNTER寫真化學(xué)測(cè)繪測(cè)量膜厚儀
KAKUHUNTER寫真化學(xué)測(cè)繪測(cè)量膜厚儀
特征
測(cè)繪膜厚儀能夠?qū)ψ畲?00mm的晶圓整個(gè)表面進(jìn)行自動(dòng)測(cè)繪膜厚測(cè)量。自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能和高度平坦的晶圓吸盤可實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚測(cè)量。 另外，通過(guò)設(shè)置在半導(dǎo)體制造裝置的裝載口，可以在保持清潔度的同時(shí)管理制造裝置上的膜厚。
1
可對(duì)最大 300mm 的晶圓進(jìn)行全表面自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪測(cè)量
2
自動(dòng)對(duì)位功能
通過(guò)自動(dòng)檢測(cè)缺口和定向平面位置以及自動(dòng)檢測(cè)晶圓偏心，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
3
通過(guò)使用具有高平坦度的晶圓卡盤，提高了晶圓平面內(nèi)的測(cè)量可靠性
4
可以根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源
5
透明蓋使測(cè)量過(guò)程中的運(yùn)動(dòng)一目了然
6
一體化設(shè)計(jì)節(jié)省空間
測(cè)量數(shù)據(jù)示例（2D膜厚分布）
貼合晶圓的硅厚度（nm）測(cè)量數(shù)據(jù)示例（3D膜厚分布）
貼合晶圓的硅厚度（nm）測(cè)量數(shù)據(jù)示例（膜厚頻率分布）
貼合晶圓的硅厚度測(cè)量數(shù)據(jù)示例（多個(gè)晶圓的膜厚分布箱線圖）
5個(gè)晶圓的膜厚分布趨勢(shì)
我想輕松測(cè)量透明多層薄膜每一層的厚度。
我想自動(dòng)測(cè)量多個(gè)點(diǎn)的薄膜厚度。
我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。
我想測(cè)量半透明板的厚度。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心