半導(dǎo)體器件制造過程中液體成分濃度檢測(cè)設(shè)備ChemicAlyzer介紹

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年11月22日 11:45

半導(dǎo)體器件制造過程中液體成分濃度檢測(cè)設(shè)備ChemicAlyzer介紹

ChemicAlyzer是一款利用光吸收原理并采用在線設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量的液體成分濃度計(jì)。自 1990 年作為紅外液體成分濃度計(jì)的先驅(qū)開始業(yè)務(wù)以來，我們利用豐富的專業(yè)知識(shí)和技術(shù)，響應(yīng)不斷發(fā)展的半導(dǎo)體器件制造過程中的測(cè)量需求，提高質(zhì)量和化學(xué)濃度。管理。
我們將通過靈活應(yīng)對(duì)工藝和特殊化學(xué)溶液，并通過高精度化學(xué)濃度測(cè)量“滿足一步的測(cè)量需求”，繼續(xù)為制造工藝的優(yōu)化做出貢獻(xiàn)。

高質(zhì)量
我們?yōu)槊總€(gè)測(cè)量目標(biāo)選擇最佳波長(zhǎng)，并為每個(gè)設(shè)備創(chuàng)建校準(zhǔn)曲線。
我們提供穩(wěn)定的產(chǎn)品，機(jī)器變化很小，并通過了檢驗(yàn)測(cè)試。
高性能
ChemicAlyzer 是一款高性能濃度計(jì)，具有出色的響應(yīng)和分辨率。
可以控制濃度，而不會(huì)遺漏高度分解成分的哪怕最輕微的變化。
高耐用性
有助于降低長(zhǎng)期運(yùn)行成本。
十多年來，我們一直持續(xù)提供支持，并擁有客戶使用我們產(chǎn)品的記錄。

晶圓制造流程
半導(dǎo)體制造工藝

液晶面板制造流程
板材制造流程
晶體諧振器制造工藝

?抗蝕劑剝離液的濃度控制
?再生藥液的濃度管理
?后處理用化學(xué)溶液的濃度控制
?酸堿清洗液的濃度控制
?氧化膜/氮化膜蝕刻液的濃度控制
?其他特殊化學(xué)溶液的濃度控制

它還用于廣泛的行業(yè)，包括電池材料制造過程以及清酒和醋的發(fā)酵測(cè)量。
我們的高性能測(cè)量技術(shù)得到了高度評(píng)價(jià)，在日本、東亞和美國(guó)已銷售超過3,000臺(tái)！

基本規(guī)格

測(cè)量方法	近紅外透射光譜
最短測(cè)量時(shí)間	2秒
測(cè)量值輸出	DC4-20mA
輸入信號(hào)	晶體管電流驅(qū)動(dòng)輸入（測(cè)量、校準(zhǔn)、預(yù)熱結(jié)束等）
輸出信號(hào)	集電極開路輸出（READY、BUSY、設(shè)備錯(cuò)誤、測(cè)量、成功、上下限報(bào)警等）
接液部件材料	石英池規(guī)格：PFA、PTFE、石英（池）、全氟（O 型圈）藍(lán)寶石池規(guī)格：PFA、PTFE、藍(lán)寶石（池）、Kalrez（O 型圈）
最大工作壓力	0.2MPa
配管直徑	IN: Φ3 × Φ2 OUT: Φ4 × Φ3 (mm) 包含每根 1m 管

化學(xué)液體清單

主要用途	成分1	成分2	成分3	評(píng)論	通用名	推薦高精度型	需要特殊波長(zhǎng)
半導(dǎo)體	氨	雙氧水			APM、SC1
	高頻
	高頻			稀	氫氟酸	○	○
	H 2 SO 4	雙氧水			SPM
	高頻	雙氧水			氟甲基丙烯酸甲酯
	高頻	雙氧水		稀	氟甲基丙烯酸甲酯	○	○
	高頻	鹽酸				○	○
	高頻	H2SiF6				○
	人機(jī)交互	雙氧水			HPM、SC2		○
	氫氧化鉀	雙氧水
	氫氧化鈉	雙氧水
	H 3 PO 4
	高頻	NH4F				○
	高頻	硝酸3				○
	高頻	雙氧水	CH3COOH			◎
液晶	四甲基氫氧化銨			開發(fā)商
	H 3 PO 4	硝酸3	CH3COOH	蝕刻		◎
	H 2 SO 4	雙氧水	銅	蝕刻		◎	○
	水	胺	溶劑	抗剝落		◎	○
其他的	異丙醇
	水			有機(jī)溶劑中微量水分			○
	CH3COOH	C2H5OH		醋			○
	C2H5OH	葡萄糖		日本清酒		○	○

*由于采用光學(xué)方法，因此無法測(cè)量不透光的不透明化學(xué)溶液

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半導(dǎo)體器件制造過程中液體成分濃度檢測(cè)設(shè)備ChemicAlyzer介紹

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