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硅片氧氣透過率測試儀:應(yīng)用

來源:濟南賽成電子科技有限公司   2024年12月02日 16:19  

  本文由濟南賽成電子科技有限公司提供

  硅片氧氣透過率測試儀是一款高精度、高自動化的實驗室儀器,基于庫侖氧氣分析傳感器和等壓法測試原理(也被稱為庫侖電量法)設(shè)計而成,參照ASTM

  D3985等標準制造,能夠為高、中氣體阻隔性材料提供高精度和高效率的氧氣透過率測試。以下是對硅片氧氣透過率測試儀的詳細介紹:

  一、硅片氧氣透過率測試儀工作原理

  將預(yù)先處理好的硅片試樣夾緊于測試腔之間,氧氣或空氣在硅片的一側(cè)流動,而高純氮氣在硅片的另一側(cè)流動。氧氣分子穿過硅片擴散到另一側(cè)的高純氮氣中,被流動的氮氣攜帶至傳感器。通過對傳感器測量到的氧氣濃度進行分析,從而計算出氧氣透過率等參數(shù)。

  二、硅片氧氣透過率測試儀應(yīng)用領(lǐng)域

  硅片氧氣透過率測試儀不僅適用于硅片,還廣泛適用于食品、藥品、醫(yī)療器械、日用化學(xué)、光伏、電子等領(lǐng)域的薄膜、片材及相關(guān)材料的氧氣透過性能測試。

  三、硅片氧氣透過率測試儀使用方法

  樣品準備:根據(jù)測試要求,將待測硅片裁剪成適當(dāng)?shù)某叽绾托螤睿⒋_保樣品表面沒有損壞或污染,以避免影響測試結(jié)果。

  樣品安裝:將硅片放置在測試腔室中,確保其密封性良好并與高低氧氣濃度區(qū)域正確連接。

  參數(shù)設(shè)置:通過氧氣透過率測試儀的控制系統(tǒng)設(shè)置適當(dāng)?shù)臏y試參數(shù),例如溫度、濕度和測試時間等。實驗室溫度一般應(yīng)控制在(23±2)℃標準溫度,以避免溫度對測試結(jié)果的影響。

  氣體選擇:必須使用99.99%的高純氮氣(N2),低純度氣體會導(dǎo)致無法測試高阻隔材料,測試時間會延長,測試數(shù)據(jù)誤差大,傳感器也會被損耗。同時,禁止使用易燃、腐蝕性氣體進行實驗。

  啟動測試:啟動氧氣透過率測試儀的運行程序,讓儀器自動進行測試。

  綜上所述,硅片氧氣透過率測試儀是一款功能強大的測試儀器,能夠準確測量硅片的氧氣透過率。在使用時,需要遵循正確的操作方法和注意事項,以確保測試結(jié)果的準確性和可靠性。


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