高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀操作步驟涉及多個環(huán)節(jié)

來源：北京格微儀器有限公司 2024年12月25日 10:05

　　高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀是一種用于在高真空環(huán)境下通過加熱蒸發(fā)固態(tài)碳源，使其沉積到工件表面形成均勻、致密碳膜的設(shè)備。其操作步驟涉及多個環(huán)節(jié)，包括設(shè)備準備、蒸發(fā)過程控制以及后續(xù)處理等。以下是詳細的操作步驟：

　　1.準備工作

　　環(huán)境準備：進入房間前換拖鞋，穿上防塵服。打開房間總電源，照明和插座的電源，并開啟排氣扇。同時，打開鍍膜間后面的電源和水源。

　　基板整理：整理好基板，以減少真空室在大氣壓狀態(tài)下的時間，有利于機械泵和分子泵抽真空。

　　設(shè)備檢查：打開鍍膜機的電源，檢查真空檢測顯示是否正常，觀察是高真空還是低真空狀態(tài)。

　　2.安裝與調(diào)整蒸發(fā)源

　　選擇蒸發(fā)頭：根據(jù)蒸鍍材料的不同，選擇合適的蒸發(fā)頭（金屬蒸盒或碳棒蒸發(fā)頭）。使用碳棒蒸發(fā)頭時，需將一個電極線連接至儀器后面的黑色孔，另一個電極線連接至紅色孔。

　　安裝碳棒，安裝蒸發(fā)頭：將碳蒸發(fā)頭裝在儀器上蓋上，插好電線，打開氮氣鋼瓶的開關(guān)，流量控制在0.035Mpa左右。

　　3.放置樣品

　　將要蒸發(fā)的基底材料洗干凈放在蒸發(fā)頭下面的基板上。對于金屬蒸鍍，還需將要蒸發(fā)的金屬用鑷子團成球形放入鎢籃中。

　　4.抽真空

　　開放氣閥，直到真空室門自動打開。關(guān)閉放氣閥，以免遺忘。

　　將蒸發(fā)源安裝在電極上，取出襯底托，將襯底安放在襯底托上，當(dāng)好擋板。

　　檢驗石英振蕩器是否正常，觀察膜厚儀表上對應(yīng)的綠色指示燈是否亮著。

　　把調(diào)壓器界面的旋鈕由停旋至蒸發(fā)1檔，調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流，看電流表的示數(shù)是否顯示正常。

　　將旋鈕調(diào)至機械泵—分子泵檔，打開熱偶規(guī)至V2測量檔，開啟機械泵，拉出低閥，間隔2分鐘左右推進低閥，如此反復(fù)兩三次，待熱偶規(guī)表示數(shù)達到10Pa時，推進低閥，打開高閥，打開分子泵電源，開啟分子泵。

　　5.高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀蒸發(fā)過程

　　在高真空狀態(tài)下，通過電阻加熱或電子束加熱的方式，將固態(tài)碳源加熱至蒸發(fā)溫度，轉(zhuǎn)化為氣態(tài)。這些氣態(tài)的碳原子或分子在真空腔室內(nèi)自由擴散，遇到溫度較低的工件表面時重新凝結(jié)成固態(tài)，逐漸形成一層碳膜。

　　6.結(jié)束與清理

　　蒸鍍完畢后，按STOP鍵停止抽真空，打開蓋子取出樣品，最后關(guān)閉主機電源盒氣源。

　　實驗結(jié)束后取出樣品，長時間使用時需根據(jù)實際情況及時清洗腔室。清洗時注意不要使用有機試劑如丙酮、乙醇等老化膠圈，避免有試劑沾到老化圈上引起膠圈溶解。

　　7.安全注意事項

　　在整個操作過程中，要嚴格遵守實驗室安全規(guī)程，確保人員和設(shè)備的安全。

　　特別注意在抽真空和加熱過程中的操作細節(jié)，避免對設(shè)備造成損壞或影響實驗結(jié)果。

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