白光干涉中的機(jī)械相移，對(duì)于反射鏡移動(dòng)的技術(shù)難點(diǎn)

一、反射鏡移動(dòng)精度要求高

白光干涉測(cè)量對(duì)光程差的改變非常敏感，即使是微小的移動(dòng)也會(huì)導(dǎo)致顯著的相位變化。因此，反射鏡的移動(dòng)必須非常精確，通常要達(dá)到納米級(jí)別。這種高精度的移動(dòng)要求機(jī)械系統(tǒng)具有良好的穩(wěn)定性和分辨率。

二、機(jī)械系統(tǒng)穩(wěn)定性挑戰(zhàn)

反射鏡的移動(dòng)通常依賴于機(jī)械系統(tǒng)，如壓電陶瓷、精密絲杠等。然而，這些機(jī)械系統(tǒng)容易受到溫度、振動(dòng)等外部因素的影響，導(dǎo)致移動(dòng)不穩(wěn)定。為了提高穩(wěn)定性，需要采取一系列措施，如溫度控制、減震設(shè)計(jì)等。

三、非線性誤差的校正

機(jī)械系統(tǒng)在移動(dòng)過程中可能會(huì)產(chǎn)生非線性誤差，即移動(dòng)量與預(yù)期值之間存在偏差。這種偏差會(huì)影響白光干涉測(cè)量的準(zhǔn)確性。為了校正非線性誤差，需要對(duì)機(jī)械系統(tǒng)進(jìn)行精確的校準(zhǔn)，并采取相應(yīng)的補(bǔ)償措施。

四、反射鏡移動(dòng)速度的控制

在某些應(yīng)用中，需要快速改變反射鏡的位置以實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量。然而，機(jī)械系統(tǒng)的響應(yīng)速度和加速度受到限制，可能導(dǎo)致無法及時(shí)完成所需的移動(dòng)。因此，需要在機(jī)械設(shè)計(jì)中考慮高速響應(yīng)和加速度的要求。

五、反射鏡的定位精度

白光干涉測(cè)量中，反射鏡的準(zhǔn)確定位對(duì)于獲取精確的測(cè)量結(jié)果至關(guān)重要。然而，由于機(jī)械系統(tǒng)的限制和外部環(huán)境的影響，反射鏡的定位精度可能會(huì)受到影響。為了提高定位精度，需要采用高精度的傳感器和反饋控制系統(tǒng)來實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和調(diào)整反射鏡的位置。

六、機(jī)械磨損與壽命問題

長時(shí)間使用會(huì)導(dǎo)致機(jī)械部件的磨損和性能下降。在白光干涉測(cè)量中，這種磨損可能會(huì)影響反射鏡的移動(dòng)精度和穩(wěn)定性。因此，需要選擇高質(zhì)量的機(jī)械部件并定期進(jìn)行維護(hù)和更換。

綜上所述，白光干涉中的機(jī)械相移技術(shù)難點(diǎn)主要涉及反射鏡的移動(dòng)精度、機(jī)械系統(tǒng)穩(wěn)定性、非線性誤差校正、移動(dòng)速度控制、定位精度以及機(jī)械磨損與壽命問題。為了解決這些難點(diǎn)，需要采用機(jī)械設(shè)計(jì)和控制技術(shù)，并不斷優(yōu)化和改進(jìn)測(cè)量系統(tǒng)。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實(shí)時(shí)”動(dòng)態(tài)/靜態(tài) 微納級(jí)3D輪廓測(cè)量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題，實(shí)現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實(shí)現(xiàn)良好的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測(cè)量范圍高達(dá)100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測(cè)量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測(cè)振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)“動(dòng)態(tài)”3D輪廓測(cè)量。

實(shí)際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測(cè)量硅片表面粗糙度測(cè)量，Ra=0.7nm

2，毫米級(jí)視野，實(shí)現(xiàn)5nm-有機(jī)油膜厚度掃描

3，良好的“高深寬比”測(cè)量能力，實(shí)現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測(cè)量。