半導體工廠燈具是指用于照明使用感光材料的半導體工廠的燈具。其中許多發(fā)出黃光,故又稱黃燈。
傳統(tǒng)上使用黃色熒光燈,但現(xiàn)在切割包括紫外線在內(nèi)的 500 nm 或更短波長的 LED 燈已成為主流。
在半導體制造過程中,有一個稱為“曝光”的過程,其中通過向構(gòu)成半導體基礎(chǔ)的硅晶片照射紫外線來形成電路。在此過程中,照明產(chǎn)生的紫外線會改變硅晶片的質(zhì)量,使其無法使用常規(guī)照明。在這種情況下,需要使用阻擋紫外線的燈進行照明。
半導體工廠燈具的應用
半導體工廠燈主要用作半導體/IC工廠和其他處理感光材料的場所的安全燈。
機械電子行業(yè)使用的潔凈室主要通過對房間加壓來防止灰塵進入。為此,潔凈室照明設備在電源插入部分和螺栓安裝部分使用套管來注意保持室內(nèi)氣密性。
另外,在潔凈室中,經(jīng)過過濾器過濾的潔凈空氣沿固定方向流動。為了避免照明設備擾亂氣流,我們采用了流線型的造型,不易阻礙空調(diào)的氣流。
阻擋紫外線的燈用途廣泛,包括商店照明、植物工廠照明、食品工廠照明、釣魚燈以及教育設施、游樂場、車輛和計算機房的照明。
半導體工廠燈具原理
半導體工廠用燈采用濾光片方式和選擇波長發(fā)光方式。
濾光法通過用黃色顏料層、黃色熱收縮樹脂涂層或特殊薄膜覆蓋熒光燈管或LED來阻擋波長為500nm以下的光,包括紫外線。
選擇波長發(fā)射方法使用加法方法僅發(fā)射必要的波長。 LED照明有望提高能源效率和用戶滿意度(顏色識別、工作效率、工作環(huán)境)。由于僅設定必要的波長來發(fā)光,因此與使用傳統(tǒng)濾光器的波長截止方法(減法)的LED相比,可以改善能源成本。
半導體工廠用燈的特點
使用 LED 的半導體工廠燈具具有許多特點。
半導體工廠用燈采用LED,與同等產(chǎn)品性能的熒光燈相比,可降低高達70%的功耗。即使在難以降低功耗的特殊環(huán)境下,也能實現(xiàn)顯著的節(jié)電效果。
LED燈的使用壽命很長。它的使用壽命超過 40,000 小時,比傳統(tǒng)黃光熒光燈長約 4 倍。因此,定期更換等維護成本也是有利的。
它也是一種環(huán)保燈,因為它不使用汞。亮度改善了工作環(huán)境,提高了半導體工廠垃圾和異物的檢出率。
玻璃管燈的外表面有樹脂涂層,即使燈損壞,也可以防止玻璃碎片飛散。采用樹脂容器的 LED 重量輕且安全,即使破裂,碎片飛散也較少。
半導體工廠用燈的種類
半導體工廠用熒光管型黃光燈是在玻璃管內(nèi)側(cè)涂有黃色顏料層,在玻璃管外側(cè)涂有黃色熱收縮樹脂涂層以切斷紫外線的黃色熒光燈。由于具有顏料層和紫外線屏蔽涂層,因此可用作半導體工廠等處理對 500 nm 以下波長敏感的感光材料的場所的照明光源。近年來,它們正在被 LED 燈取代。
普通的半導體工廠燈發(fā)出黃光,但也有改善黃色房間照明色調(diào)的產(chǎn)品。它的顏色比消除特定波長的 LED 照明更接近白色。這種配色技術(shù)減少了進出房間時因色差帶來的不適感。此燈顯色性佳,對身體溫和。色溫約為3,000~5,000K。由聚碳酸酯或鋁制成的LED 容器不易損壞且易于維護。可代替潔凈室等使用的黃燈。
對于特殊用途,還有安全性高的防爆結(jié)構(gòu)的LED照明燈具。 適用于半導體工廠,使用LED將亮度控制在500nm。可用于使用G線、I線等高感光感光材料的工廠。與使用濾光片截斷波長的傳統(tǒng)熒光燈和黃燈 LED 相比,可見度顯著提高。
有一個橙色 LED 燈。橙色型是一種截止 530 nm 或更短波長的 LED 燈,類似于半導體制造工廠傳統(tǒng)上使用的黃色熒光燈。適用于對紫外線防護要求特別嚴格的照明設備,如需要防蟲的半導體工廠潔凈室、IC工廠、食品工廠等。
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