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一分鐘明白上海大理石平臺(tái)的00級(jí)精度標(biāo)準(zhǔn)~

來(lái)源:大連巨華機(jī)械設(shè)備有限公司   2025年02月07日 10:17  

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上海大理石平臺(tái)的000級(jí)精度標(biāo)準(zhǔn)是高級(jí)別的精度要求,具體如下:

1. **平面度公差**:每平方米不超過(guò)±0.005毫米。

2. **表面粗糙度**:Ra值不超過(guò)0.01微米。

3. **尺寸公差**:長(zhǎng)度、寬度和厚度的偏差不超過(guò)±0.01毫米。

4. **垂直度和平行度**:各面之間的垂直度和平行度偏差不超過(guò)±0.01毫米。

### 應(yīng)用領(lǐng)域

- **精密測(cè)量**:用于高精度測(cè)量?jī)x器。

- **光學(xué)設(shè)備**:用于光學(xué)平臺(tái)和激光設(shè)備。

- **半導(dǎo)體制造**:用于晶圓檢測(cè)和光刻設(shè)備。

### 檢測(cè)方法

- **激光干涉儀**:檢測(cè)平面度。

- **表面粗糙度儀**:測(cè)量表面粗糙度。

- **三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)**:檢測(cè)尺寸和幾何公差。

### 維護(hù)要求

- **環(huán)境控制**:需在恒溫、恒濕、無(wú)塵環(huán)境中使用。

- **定期校準(zhǔn)**:定期使用高精度儀器校準(zhǔn)。

- **清潔保養(yǎng)**:避免表面劃傷和污染。

000級(jí)精度的上海大理石平臺(tái)適用于對(duì)精度要求高的領(lǐng)域,需嚴(yán)格維護(hù)以確保性能。

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