您是否正在尋找便宜且簡單的濺射設(shè)備?
MSP-Mini僅使用一個按鈕自動涂覆。這是一種具有出色成本性能的設(shè)備。
該目標(biāo)是一種消耗量的,使用尺寸較小(φ32mm),使運(yùn)行成本較低。
AU目標(biāo)作為標(biāo)準(zhǔn)。它證明了其對低磁化觀測臺SEMS進(jìn)行預(yù)處理的能力。
可選的AG膜具有出色的光澤,并且可以輕松觀察光學(xué)顯微鏡下透明材料的表面。
小型磁控濺射裝置 MSP-MINI 核心優(yōu)勢
1. 緊湊設(shè)計,空間利用率高
體積小巧,占地面積僅為傳統(tǒng)設(shè)備的1/3,適配高校實(shí)驗室、科研院所或小型企業(yè)等空間有限的環(huán)境。
一體化集成設(shè)計,減少外接組件需求,安裝靈活,輕松融入現(xiàn)有實(shí)驗平臺。
2. 操作簡便,快速上手
配備智能觸控界面,參數(shù)設(shè)置直觀清晰,無需復(fù)雜培訓(xùn)即可獨(dú)立操作。
全自動真空控制系統(tǒng),一鍵啟動鍍膜流程,顯著降低人為操作誤差。
支持多組工藝參數(shù)存儲,實(shí)驗條件快速切換,提升研發(fā)效率。
3. 高性價比,低使用成本
相比大型設(shè)備,采購成本降低50%以上,適合預(yù)算有限的用戶。
功耗低(<2kW),靶材利用率高,維護(hù)成本可控,長期使用經(jīng)濟(jì)性顯著。
模塊化設(shè)計,關(guān)鍵部件可單獨(dú)更換,避免整機(jī)維修的高昂費(fèi)用。
4. 穩(wěn)定鍍膜,性能優(yōu)異
磁控濺射工藝成熟,膜層均勻性達(dá)±5%以內(nèi),致密性好,附著力強(qiáng)。
支持多種靶材(金屬、合金、氧化物等),滿足導(dǎo)電膜、光學(xué)膜、防腐涂層等多樣化需求。
基片兼容性強(qiáng),可處理直徑≤4英寸的樣品,適用于微納器件、傳感器等小型化產(chǎn)品。
5. 安全可靠,綠色環(huán)保
多重安全防護(hù)機(jī)制:真空異常報警、過流保護(hù)、防濺射短路設(shè)計,保障實(shí)驗安全。
封閉式濺射腔體,有效防止粉塵和氣體泄漏,符合實(shí)驗室環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。
6. 科研與教學(xué)雙重適配
為材料科學(xué)、電子工程等學(xué)科提供實(shí)踐平臺,助力學(xué)生理解鍍膜技術(shù)原理。
支持小批量試生產(chǎn),幫助初創(chuàng)企業(yè)快速驗證工藝,縮短研發(fā)周期。
7. 擴(kuò)展靈活,升級無憂
可選配射頻電源、加熱基片臺等模塊,拓展功能至絕緣材料鍍膜或高溫成膜。
提供定制化服務(wù),根據(jù)需求調(diào)整腔體尺寸或靶位數(shù)量。
應(yīng)用場景示例
? 高校實(shí)驗室:薄膜制備教學(xué)、新材料研發(fā)
? 企業(yè)研發(fā)中心:電子元件表面改性、光學(xué)器件鍍膜
? 創(chuàng)客工坊:微型傳感器、柔性電子器件開發(fā)
MSP-MINI設(shè)備規(guī)格
物品 | 規(guī)格 |
---|---|
電源 | AC100V,10A 3核插頭,用接地線 |
設(shè)備尺寸 | 寬度180mm,深度270mm,高度183mm (設(shè)備重4.2kg) |
旋轉(zhuǎn)泵 | 排氣速度:5 l/min(G-5DA) (泵重量:5.5kg) 旋轉(zhuǎn)泵油(SMR-100)用法:180 ml |
樣品室大小 | 內(nèi)徑86mm,高度60mm(硬玻璃) |
樣本階段尺寸 | φ83mm 樣品量有效直徑φ30mm,高度20mm |
目標(biāo) | φ30mm磁石電極 AU(標(biāo)準(zhǔn)),可選(Ag) |
MSP-Mini消耗品和零件清單
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MSP-MINI的
AU目標(biāo)
[t = 0.1mm]
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MSP-MINI的
Ag目標(biāo)
[t = 0.5mm]
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旋轉(zhuǎn)泵油(包括500毫升)
[SMR-100]
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