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類型 8744 - 氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC)/氣體質(zhì)量流量計(jì) (MFM)

來(lái)源:上海東庚設(shè)備工程技術(shù)有限公司   2025年02月19日 15:20  

8744氣體流量計(jì)一般指的是 Bürkert 8744型氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì),以下是相關(guān)介紹:

工作原理

采用熱式毛細(xì)管傳感器的間接測(cè)量原理,傳感器元件不與介質(zhì)直接接觸。利用熱傳導(dǎo)特性,當(dāng)氣體流過(guò)時(shí),帶走加熱元件的熱量使其溫度下降,通過(guò)測(cè)量溫度變化推算出氣體流量。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 耐腐蝕性強(qiáng):與介質(zhì)接觸的部件采用316L不銹鋼和FFKM密封材料,適用于腐蝕性氣體和混合氣體,如氨、二氧化硫等。

• 測(cè)量精度高:在0.01 lN/min至100 lN/min(氮?dú)猓╊~定流量范圍內(nèi),具有高精度和高重復(fù)性。

• 氣體轉(zhuǎn)換方便:可通過(guò)換算系數(shù)輕松轉(zhuǎn)換不同氣體,工廠可事先導(dǎo)入氣體換算系數(shù),也能通過(guò)Bürkert Communicator軟件或系統(tǒng)控制器現(xiàn)場(chǎng)更改。

• 通信功能豐富:屬于IP65防護(hù)等級(jí),包含基于CAN的büS版本,可集成到CAN網(wǎng)絡(luò)或büS網(wǎng)絡(luò),通過(guò)以太網(wǎng)網(wǎng)關(guān)納入控制級(jí)別,通信數(shù)據(jù)通過(guò)軟件配置。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 化工行業(yè):在各種化工工藝中,精確測(cè)量腐蝕性氣體、反應(yīng)氣體等的流量,確?;瘜W(xué)反應(yīng)的準(zhǔn)確進(jìn)行和生產(chǎn)安全。

• 半導(dǎo)體行業(yè):用于測(cè)量和控制半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的各種特種氣體,如硅烷、氨氣等的流量,保證工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

• 實(shí)驗(yàn)室研究:在科研實(shí)驗(yàn)中,對(duì)各種腐蝕性或混合氣體的流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制,為實(shí)驗(yàn)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。


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