熱流儀（Thermal System）提升產(chǎn)品可靠性測(cè)試效率的技術(shù)路徑

　　高低溫氣流溫度沖擊系統(tǒng)滿足半導(dǎo)體、航天等多場(chǎng)景需求，冠亞恒溫高低溫氣流溫度沖擊系統(tǒng)AES系列在原有配置的基礎(chǔ)上還能接受定制，滿足客戶需求。

　　一、技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

　　1. 溫控性能突破

　　更寬溫域：從傳統(tǒng)-55℃~300℃擴(kuò)展至-100℃~500℃，支持半導(dǎo)體（SiC、GaN）與超導(dǎo)材料測(cè)試。

　　更快溫變速率：制冷技術(shù)推動(dòng)溫變速率適配3D封裝芯片的瞬時(shí)熱應(yīng)力模擬。

　　納米級(jí)控溫精度：基于量子傳感器與AI動(dòng)態(tài)補(bǔ)償算法，控溫精度滿足制程芯片的原子級(jí)熱分析需求。

　　2. 多物理場(chǎng)耦合測(cè)試

　　復(fù)合環(huán)境模擬：集成振動(dòng)、濕度、真空模塊，滿足車(chē)規(guī)級(jí)芯片與航天器件的多維度可靠性驗(yàn)證。

　　原位分析技術(shù)：結(jié)合拉曼光譜、X射線衍射，實(shí)時(shí)觀測(cè)材料熱變形與微觀結(jié)構(gòu)演變。

　　2. 模塊化與微型化設(shè)計(jì)

　　芯片級(jí)測(cè)試設(shè)備：微型熱流罩支持晶圓級(jí)在線測(cè)試，成本降低。

　　可擴(kuò)展架構(gòu)：通過(guò)更換模塊適配不同溫域與功能（如添加輻射加熱或濕度控制）。

　　二、半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例

　　1、3D IC封裝熱應(yīng)力測(cè)試

　　需求：驗(yàn)證TSV（硅通孔）與混合鍵合結(jié)構(gòu)在-55℃~150℃循環(huán)下的可靠性。

　　方案：熱流儀以80℃/min速率完成溫度循環(huán)，同步監(jiān)測(cè)電阻與形變數(shù)據(jù)。

　　2、車(chē)規(guī)芯片認(rèn)證

　　需求：滿足-40℃~150℃溫度循環(huán)、濕熱老化等嚴(yán)苛測(cè)試。

　　方案：多工位熱流罩并行測(cè)試8個(gè)ECU，溫變速率50℃/min，濕度精度±2%RH。

　　3、GaN功率器件熱阻優(yōu)化

　　需求：降低GaN HEMT器件的結(jié)到外殼熱阻，提升散熱效率。

　　方案：熱流儀結(jié)合紅外熱成像，定位熱點(diǎn)并優(yōu)化封裝結(jié)構(gòu)。

　　4、Chiplet異構(gòu)集成驗(yàn)證

　　需求：驗(yàn)證多芯片模塊（MCM）在嚴(yán)苛溫度下的信號(hào)完整性。

　　方案：熱流儀在-65℃~125℃下同步施加高頻信號(hào)，監(jiān)測(cè)延時(shí)與誤碼率。

　　5、制程芯片（2nm）電遷移測(cè)試

　　需求：評(píng)估銅互連線在高溫與高電流密度下的壽命。

　　方案：熱流儀以±0.1℃精度控溫，結(jié)合四探針?lè)▽?shí)時(shí)測(cè)量電阻漂移。

　　高低溫氣流溫度沖擊系統(tǒng)其技術(shù)突破與半導(dǎo)體行業(yè)的準(zhǔn)確化、集成化需求深度耦合。冠亞恒溫等企業(yè)正通過(guò)持續(xù)創(chuàng)新，為全球客戶提供更準(zhǔn)確的可靠性測(cè)試解決方案。