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日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N北崎供應(yīng)
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
產(chǎn)品介紹
作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間，并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來的工藝擴(kuò)展。此外，在所有工藝中實(shí)施最佳的溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)工藝耐受性的提高，并且通過延長部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應(yīng)對(duì)的應(yīng)用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長等。
EV-X型
小型節(jié)能，僅需一臺(tái)設(shè)備即可覆蓋廣泛的工藝流程
支持中等負(fù)荷工藝
支持高溫化控制
節(jié)能
采用標(biāo)配耐腐蝕性材料
增強(qiáng)耐腐蝕性的選配件
不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩(wěn)定性能
無油
可支持CE標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
省空間化
產(chǎn)品規(guī)格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風(fēng)量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達(dá)壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規(guī)格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達(dá)底壓時(shí)消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
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