美國激光干涉儀API測量儀器信息

核心優(yōu)勢

• 優(yōu)異精度：標(biāo)準(zhǔn)款激光干涉儀檢測精度達 0.5ppm（0.5μm/m），能夠滿足眾多高精度制造場景；XD Laser 系列的精密型更是將精度提升至 0.2ppm（0.2μm/m），適用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鏡片研磨等對精度要求高的行業(yè)。

• 高效測量：以 XD Laser 6D 為例，一次安裝即可同步完成定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角、滾動角等 6 項參數(shù)測量，相比傳統(tǒng)設(shè)備效率大幅提升 80%。例如，1 米行程機床的全面誤差檢測，傳統(tǒng)方法需要較長時間，使用 API 設(shè)備僅 3 - 4 小時便可完成。

• 便捷操作：儀器采用緊湊設(shè)計，全套系統(tǒng)輕巧便攜。測量時無需三角架，可直接安裝在機床導(dǎo)軌上，極大簡化安裝流程；集成化的干涉鏡與激光器設(shè)計，減少復(fù)雜的光路調(diào)整步驟；部分型號支持 25 米以上無線遙控測量，方便操作人員在復(fù)雜工況下靈活使用。

• 良好環(huán)境適應(yīng)力：內(nèi)置自動氣壓與溫度補償系統(tǒng)，可實時校正環(huán)境變化對激光波長和測量結(jié)果的影響；多重數(shù)字濾波器有效抑制空氣波動、溫度梯度導(dǎo)致的測量誤差，無論是恒溫實驗室還是溫度、濕度變化較大的工業(yè)現(xiàn)場，均可穩(wěn)定輸出可靠數(shù)據(jù)。

• 功能豐富：API 激光干涉儀具備多樣化的測量功能，1D 型號專注定位誤差檢測；3D 型號可測量定位誤差與雙向直線度誤差；5D/6D 型號更能實現(xiàn)角度參數(shù)的全面測量。此外，XD Laser 系列還可對速度、加速度、振動等動態(tài)參數(shù)進行分析，為機床性能評估提供多維度數(shù)據(jù)支持。