INFICON UL1000和UL3000氦質(zhì)譜檢漏儀有以下區(qū)別:
性能方面
• 檢測速度:UL3000有著當(dāng)今市場上極快的泄漏檢測速度。相比之下,UL1000的檢測速度雖也較快,但不如UL3000突出。例如,UL3000的HYDRO - S軟件可消除系統(tǒng)中的水汽,使泄漏檢測過程更加迅速。
• 本底抑制:UL3000的I·ZERO 2.0是智能的抑零功能,可在維持高測量靈敏度時實現(xiàn)快速本底抑制。UL1000雖有 selectable background suppression(I zero)功能,但在本底抑制的速度和智能化程度上可能不如UL3000。
設(shè)計方面
• 外形設(shè)計:UL3000具有低重心、大底輪、符合人體工程學(xué)設(shè)計的手柄和纖薄外殼,即使在狹小的空間內(nèi)也能移動自如。UL1000則更注重緊湊設(shè)計,以確保高機(jī)動性,方便進(jìn)入空間受限的維護(hù)區(qū)域。
• 顯示與控制:UL3000采用新型觸摸屏顯示器,可遠(yuǎn)距離顯示測量結(jié)果和狀態(tài)信息,還可通過智能手機(jī)或平板電腦進(jìn)行無線控制,無需特殊軟件或應(yīng)用程序。UL1000有可旋轉(zhuǎn)顯示屏、光學(xué)和聽覺泄漏指示,也有可選的遙控器,不過在顯示的便捷性和控制的靈活性上不如UL3000。
適用場景方面
• UL3000:專為滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專業(yè)要求而開發(fā),如半導(dǎo)體和光電顯示(包括子部件)的泄漏測試。
• UL1000:適用于工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造等多種場景,如工業(yè)真空設(shè)備制造、真空部件或子組件的檢測、真空工具的維護(hù)等。
真空系統(tǒng)方面
• UL3000:改進(jìn)后的真空系統(tǒng)采用低維護(hù)真空泵設(shè)計,在大氣壓力下即可檢測泄漏。
• UL1000:有不同的前級真空泵類型選擇,如UL1000采用油封式前級真空泵,UL1000 Fab采用干式壓縮前級真空泵。
價格方面
一般來說,由于UL3000在性能、設(shè)計等方面更為先進(jìn),功能也更強(qiáng)大,其價格通常會比UL1000要高。
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