手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
在納米級表征需求激增的背景下，臺式掃描電鏡（SEM）通過電子光學系統(tǒng)的微型化設計，實現(xiàn)了高性能與便攜性的雙重突破。傳統(tǒng)落地式電鏡依賴大型電磁透鏡與復雜真空系統(tǒng)，而臺式設備通過創(chuàng)新技術重構了這一架構。
1.緊湊化電子光學設計
現(xiàn)代臺式SEM采用微型化電磁透鏡與短焦距電子槍，例如肖特基場發(fā)射源或六硼化鑭陰極，在縮小體積的同時保持高亮度電子束輸出。以合肥國鏡儀器發(fā)布的冷場臺式電鏡為例，其冷場發(fā)射技術將真空要求從傳統(tǒng)設備的10??Pa降至10??Pa，引出電壓從6-8kV降至100V，顯著降低設備體積與能耗。此外，三級真空系統(tǒng)與15秒快速抽真空功能，使設備可適應高樓層實驗室或生產線旁的安裝環(huán)境。
2.高分辨率與低損傷成像
微型化并未犧牲性能。飛納電鏡的臺式場發(fā)射SEM通過優(yōu)化電子光學路徑，在30kV加速電壓下實現(xiàn)二次電子成像分辨率達1.5nm，背散射電子成像分辨率達2.5nm。其低電壓成像模式（1-20kV）可減少電子束對生物樣品或軟材料的損傷，例如在觀察細胞結構或高分子涂層時，仍能保持高對比度成像。
3.多功能集成與智能化
臺式SEM集成背散射電子探測器、能譜儀（EDS）與光學導航系統(tǒng)，支持形貌觀察與元素分析一體化。麥克奧迪EasyNanoScan系列配備基于Windows11的24英寸觸控屏，用戶可通過鼠標完成聚焦、參數(shù)設置等操作，30分鐘培訓即可獨立使用。此外，設備支持JPEG、TIFF等多種圖像格式輸出，并配備自動標注與測量軟件，大幅提升分析效率。
4.應用場景拓展
微型化設計使臺式SEM突破實驗室限制，廣泛應用于工業(yè)質檢、教育科研等領域。例如，在半導體產業(yè)中，其可快速檢測晶圓表面缺陷；在高校教學中，學生可通過直觀操作理解微觀結構。國產設備如澤攸科技ZEM系列，憑借高性價比與本地化服務，已成為高校、研究所的之一。
通過電子光學系統(tǒng)的微型化創(chuàng)新，臺式SEM在保持納米級分辨率的同時，實現(xiàn)了操作便捷性與應用場景的雙重拓展，成為納米表征領域的重要工具。
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
采購中心