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杭州光尺激光平直度測(cè)量?jī)xG600信息

來源:無錫駿展儀器有限責(zé)任公司   2025年06月23日 16:47  

由于激光平直度測(cè)量?jī)x基于激光-PSD原理,只有單光束發(fā)射到接收器上而沒有返回光,因此對(duì)激光束的滾動(dòng)角沒有要求。所以,接收器用磁性座吸在XZ1平面的導(dǎo)軌上,并確保接收器內(nèi)部的傾角傳感器角度顯示為60°±0.1°。激光發(fā)射器可以固定在任何可能的位置而無需考慮滾動(dòng)角的問題,只需要在測(cè)量前調(diào)整光路大致與被測(cè)軸平行即可。

技術(shù)參數(shù)

直線度

  • 測(cè)量距離:40m

  • 測(cè)量范圍:±5mm

  • 系統(tǒng)精度:±(1μm + 1% A) ,其中 A 為最大顯示值(μm )

平行度

  • 測(cè)量范圍:±5mm

  • 測(cè)量精度(使用棱鏡 ):夾角為 ±(4 + 2/M + 0.01A/M)μm/m ;點(diǎn)間距為 ±(2 + 4M + 0.01A)μm ,A 為最大顯示值(μm ),M 為基準(zhǔn)面或基準(zhǔn)軸長(zhǎng)度(m )

  • 測(cè)量精度(不使用棱鏡 ):夾角為 ±(2/M + 0.01A/M)μm/m ;點(diǎn)間距為 ±(1 + 0.01A)μm ,A、M 含義同上

垂直度

  • 測(cè)量范圍:±5mm

  • 測(cè)量精度:±(4 + 2/M + 0.01A/M)μm/m ,A 為最大顯示值(μm ),M 為基準(zhǔn)面或基準(zhǔn)軸長(zhǎng)度(m )

平面度

  • 測(cè)量精度:±(2 + 0.02A)μm ,A 為最大顯示值(μm )


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