Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡

在半導(dǎo)體制造、面板顯示以及光伏等工業(yè)領(lǐng)域，精準(zhǔn)、高效的晶圓檢測(cè)至關(guān)重要。

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡基于蔡司光學(xué)，采用模塊化設(shè)計(jì)，通過(guò)電動(dòng)位移臺(tái)和各功能模塊的協(xié)同配合，能自動(dòng)完成晶圓級(jí)樣品的上下料，并在多個(gè)維度進(jìn)行加工選擇和自動(dòng)檢測(cè)。檢測(cè)完成后，只需一鍵，就能自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告，確保整個(gè)工作流程的一致性溯源。

高效的工作模式是Miracle Inspection系列的一大亮點(diǎn)。它提供多種電動(dòng)選件，硬件與軟件算法配合，能在不同工作模式下高效實(shí)現(xiàn)大圖拼接、景深融合以及微區(qū)加工。這使得客戶能在極短時(shí)間內(nèi)完成對(duì)樣品多個(gè)維度的檢測(cè)和加工。

景深融合技術(shù)讓檢測(cè)更加直觀。通過(guò)圖像處理算法，將不同焦平面的圖像融合為單張全視野清晰圖像，清晰展現(xiàn)樣品的三維細(xì)節(jié)。搭配AI算力模型，融合后的圖像可直接進(jìn)行目標(biāo)識(shí)別和分類，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分析，提高檢測(cè)效率和準(zhǔn)確性，減少人為誤差。

大圖拼接技術(shù)同樣出色。將多個(gè)相鄰視場(chǎng)的顯微圖像無(wú)縫拼接成高分辨率全景圖像，結(jié)合低倍導(dǎo)航圖與高倍率細(xì)節(jié)圖，消除視野盲區(qū)，實(shí)現(xiàn)從宏觀到微觀的多層級(jí)研究。拼接得到的大圖還能作為導(dǎo)航圖進(jìn)行區(qū)域選擇，搭配激光缺陷標(biāo)記模塊，可精確加工和激光修復(fù)視野外區(qū)域，提升工作效率。

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡提供“交鑰匙”式晶圓檢查解決方案。集成符合人體工學(xué)的觀察目鏡、遠(yuǎn)程控制手柄和強(qiáng)大操作軟件等配置，客戶無(wú)需自行開(kāi)發(fā)或整合模塊，就能完成換樣、缺陷標(biāo)記、數(shù)據(jù)分析到報(bào)告輸出的全流程任務(wù)，確保檢測(cè)結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)化與可重復(fù)性，讓客戶聚焦業(yè)務(wù)決策。

實(shí)時(shí)測(cè)量功能為數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性保駕護(hù)航。搭配自動(dòng)對(duì)焦模組，實(shí)時(shí)采集樣品多個(gè)維度的信息，進(jìn)行特征線性尺寸、角度、圓直徑等基礎(chǔ)測(cè)量?；谇度胧教幚韱卧罱Ｐ铜h(huán)境，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)本地實(shí)時(shí)處理和模型訓(xùn)練，生成符合客戶體系的檢測(cè)報(bào)告。

延續(xù)蔡司百年光學(xué)質(zhì)量，整合ICCS光學(xué)優(yōu)勢(shì)，提供明場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、偏光以及熒光等多種觀察檢測(cè)方式，豐富的物鏡選項(xiàng)也能精準(zhǔn)呈現(xiàn)材料紋理和結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)。

智能快速的自動(dòng)對(duì)焦功能，通過(guò)反射光源、Z軸位移臺(tái)和高幀率觀測(cè)相機(jī)的協(xié)同，快速確定聚焦平面并保持追焦，為后續(xù)分析提供高質(zhì)量輸入。智能高效的激光缺陷標(biāo)記模塊，配備雙激光組合，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)檢測(cè)與物理標(biāo)識(shí)結(jié)合，構(gòu)建質(zhì)檢閉環(huán)體系。

此外，顯微鏡還具備導(dǎo)航圖預(yù)覽、圖紙對(duì)比、準(zhǔn)確定位等功能，操作人員能快速了解晶圓布局，精準(zhǔn)識(shí)別差異并標(biāo)記改善位置。同時(shí)，兼容第三方實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)搬運(yùn)。

在硬件配置上，8吋晶圓XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)模組精度高，行程大；Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)配備電傳手輪和碼盤，微調(diào)精度出色；物鏡模組采用蔡司原裝，光源模組選擇多樣；晶圓放置模組兼容多尺寸晶圓；成像觀察模組適配多種相機(jī)和目鏡；遠(yuǎn)程控制手柄操作便捷；還可兼容主動(dòng)對(duì)焦模組、缺陷標(biāo)記模組和晶圓搬運(yùn)模組。

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡，以其性能和全面的配置，為工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域帶來(lái)了一場(chǎng)智能革命，是您檢測(cè)工作的理想伙伴。