易度智能高性能氣體質(zhì)量流量控制器推動國產(chǎn)化半導體芯片發(fā)展

2025年西部半導體及電子博覽會即將在西安隆重開幕。在這場聚焦中國半導體產(chǎn)業(yè)核心技術與供應鏈安全的行業(yè)盛會上，國產(chǎn)化替代成為貫穿全場的主旋律。

作為本次展會備受矚目的本土創(chuàng)新力量，陜西易度智能科技有限公司將展示其自主研發(fā)的層流壓差式質(zhì)量流量計與控制器系列產(chǎn)品——這些突破“卡脖子”技術的關鍵部件正在重塑中國半導體裝備的“呼吸系統(tǒng)”。

國產(chǎn)化突破：從技術依賴到自主創(chuàng)新
陜西易度智能科技有限公司并非行業(yè)中的陌生面孔。這家專注研發(fā)制造業(yè)微流量控制核心器件的企業(yè)，憑借自主研發(fā)十余年的技術積淀，已成為國內(nèi)極少數(shù)掌握層流壓差式核心技術的企業(yè)。

在工信部“100%國產(chǎn)化認證”的政策東風下，易度智能實現(xiàn)了從核心傳感器到控制算法的全面自主化，其產(chǎn)品線涵蓋質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器兩大關鍵領域。

公司研發(fā)團隊以西北工業(yè)大學數(shù)名博士后、博士為核心，依托航空宇航專業(yè)背景，在微流量測控領域擁有深厚技術積累。目前已取得20余項創(chuàng)新型技術和幾十項國內(nèi)外認證，并參與了國家《層流流量計檢定規(guī)程》等標準的制定。

“我們堅持從一條公式開始研發(fā)高性能產(chǎn)品?！币锥戎悄艿募夹g發(fā)展理念體現(xiàn)了對基礎科學的尊重。這種堅持使他們成為國內(nèi)第—家通過中國計量科學研究院認證的層流質(zhì)量流量計和控制器制造商，也是全球二家有能力生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計的企業(yè)。

精密控制：半導體制造的“氣體脈搏”
在半導體芯片制造過程中，特氣控制的精度直接決定芯片良品率。易度智能針對半導體特氣控制的高標準要求，專門建立了百級潔凈間生產(chǎn)線，確保產(chǎn)品滿足晶圓制造的嚴苛環(huán)境。

公司產(chǎn)品線針對不同半導體工況進行了精細化布局：

E系列工業(yè)配套流量計：采用金屬殼體封裝，抗電磁干擾能力強，適用于半導體工廠復雜環(huán)境。量程范圍覆蓋0.5sccm~5000slpm，相應速度可達1ms，滿足從實驗室到量產(chǎn)線的全場景需求。

EC系列工業(yè)配套流量控制器：2025年新一代產(chǎn)品支持PROFINET通訊，響應速度可達300ms，精度±0.5%Rd，內(nèi)置70種氣體數(shù)據(jù)庫并支持混氣編輯。其寬溫壓工作范圍（-20℃~60℃/2.5MPa）適應半導體設備的各種工況。

T/TC系列小尺寸流量計與控制器：專為空間受限的半導體設備集成設計，在保持高性能的同時大幅縮減體積，適用于緊湊型刻蝕和沉積設備。模塊化設計支持RS485/模擬信號等多種主流通訊協(xié)議。

這些產(chǎn)品基于層流壓差原理，通過內(nèi)置壓力與溫度傳感器實現(xiàn)動態(tài)補償，解決了半導體制造中混合氣體控制、快速響應和高精度要求的三大技術痛點。其無需轉(zhuǎn)換系數(shù)即可實現(xiàn)任意比例混合氣體切換的特性，顯著簡化了半導體工藝氣體切換的操作流程。

國產(chǎn)替代：從“可用”到“好用”的跨越
長期以來，半導體制造用質(zhì)量流量控制器市場被國際品牌壟斷。易度智能憑借層流壓差技術路線的差異化優(yōu)勢，實現(xiàn)了國產(chǎn)MFC從“技術可用”到“技術好用”的關鍵跨越。

在半導體刻蝕、薄膜沉積等核心工藝環(huán)節(jié)，易度智能控制器的表現(xiàn)尤為亮眼。其響應速度達10ms級（遠超傳統(tǒng)熱式流量計的秒級響應），精度達±0.5%Rd，在高頻、高精度場景中展現(xiàn)出超高性能。

“在國產(chǎn)替代趨勢下，我們在半導體制造、燃料電池測試等領域的表現(xiàn)尤為突出。”易度智能技術負責人指出。公司產(chǎn)品已在多家國內(nèi)頭部半導體設備商的機臺中實現(xiàn)批量應用，助力國產(chǎn)光刻機、刻蝕機等核心裝備實現(xiàn)流量控制部件的本土化替代。

隨著國產(chǎn)化進程加速，國產(chǎn)MFC在半導體市場滲透率持續(xù)提升。行業(yè)數(shù)據(jù)顯示，預計到2030年，國產(chǎn)化率將超過40%，而易度智能正處在這場替代浪潮的前沿。

2030年國產(chǎn)化率超40%——這是行業(yè)對國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器在半導體領域滲透率的預期。在西部半導體展聚光燈外，易度智能的工程師們?nèi)栽诎偌墲崈糸g內(nèi)調(diào)試下一代產(chǎn)品。

他們的目標明確：將產(chǎn)品穩(wěn)定性做到更好，將控制精度從±0.5%提升至±0.2%，讓中國半導體設備的每一次“呼吸”都精準無誤。

精密氣體流控領域的競賽從未停止，但這一次，中國創(chuàng)新者已躋身第一梯隊。